[发明专利]硅片舟转移机构及转移方法有效
申请号: | 201910169519.5 | 申请日: | 2019-03-06 |
公开(公告)号: | CN109860091B | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | 刘昊泽;戴秋喜;潘加永 | 申请(专利权)人: | 苏州映真智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高新区建林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 转移 机构 方法 | ||
本发明公开了一种硅片舟转移机构,包括基板,在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元,在所述升降气缸底部连接有真空吸盘;所述升降气缸安装在所述基板下方,用于带动所述真空吸盘上升或下降;所述真空吸盘用于吸取硅片舟;所述X轴归正单元用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟,所述Y轴归正单元用于沿Y轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟。所述硅片舟转移机构,提高了将硅片舟搬运至输送小车上的效率和效果,进而提高太阳能电池硅片的加工效率,可实现晶体硅太阳能电池加工生产的自动化,降低生产成本。本发明还提供了一种应用所述硅片舟转移机构的硅片舟转移方法。
技术领域
本发明涉及晶体硅太阳能电池加工领域,具体涉及一种硅片舟转移机构及转移方法。
背景技术
在晶体硅太阳能电池的加工生产中,硅片在由花篮装入至硅片舟(如金属舟)以后,需要将装满硅片的硅片舟搬运到工艺炉中进行相应的工艺处理。
现有技术中,硅片舟在装满硅片后竖直放置在待取位置,由人工将搬运至输送小车中,再推送该输送小车进入工艺炉中进行相应的工艺处理。由于硅片舟装载硅片后较重,人工搬运劳动强度大,效率低下,且操作不当容易出现硅片舟放置位置不准确、硅片舟损坏等问题,降低了太阳能电池的加工效率。随着自动化生产的日益完善,实现晶体硅太阳能电池加工生产自动化、提高生产效率是大势所趋。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种硅片舟转移机构及应用该硅片舟转移机构的硅片舟转移方法。
本发明采用的一个技术方案是:提供一种硅片舟转移机构,包括基板,在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元,在所述升降气缸底部连接有真空吸盘,其中,
升降气缸:安装在所述基板下方,用于带动所述真空吸盘上升或下降;
真空吸盘:用于吸取硅片舟;
X轴归正单元:用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟,包括安装在所述基板上的X轴归正气缸及连接在所述X轴归正气缸上的X轴归正板,所述X轴归正气缸可带动X轴归正板沿X轴方向移动;
Y轴归正单元:用于沿Y轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟,包括安装在所述X轴归正板上的Y轴归正气缸及连接在所述Y轴归正气缸上的Y轴归正板,所述Y轴归正气缸可带动Y轴归正板沿Y轴方向移动。
作为对上述方案的改进,在所述真空吸盘处设置有一水平限位板,所述水平限位板用于定位真空吸盘所吸取的硅片舟的顶部。
作为对上述方案的改进,所述水平限位板套设于所述真空吸盘外侧,所述水平限位板的面积大于所述真空吸盘的面积。
作为对上述方案的改进,在所述Y轴归正板上固定安装有滚轮组,所述滚轮组包括至少两个并排设置的滚轮,所述滚轮可绕其中轴转动,所述中轴平行于所述Y轴归正板。
作为对上述方案的改进,所述真空吸盘包括抽真空装置和风琴式吸盘,所述风琴式吸盘连接在所述升降气缸底部,所述抽真空装置和风琴式吸盘通过管道连接。
作为对上述方案的改进,该硅片舟转移机构还包括自动对中单元,所述自动对中单元连接在所述基板与所述升降气缸之间;所述自动对中单元包括浮动气缸,当所述浮动气缸通气时,所述升降气缸的水平位置固定;当所述浮动气缸闭气时,所述升降气缸的水平位置可变。
作为对上述方案的改进,所述浮动气缸包括固定连接在所述基板上的缸体部及连接于所述缸体部上方、可相对于所述缸体部水平移动及旋转的浮动部,所述升降气缸连接所述浮动部。
本发明采用的另一个技术方案是:提供一种应用上述硅片舟转移机构的硅片舟转移方法,包括如下步骤:
(1)使该硅片舟转移机构移动至取舟位,所述真空吸盘抽真空,吸取位于取舟位上的硅片舟;
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