[发明专利]超高真空下传样用样品托盘及其制造方法

权利要求书

1.一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法，其特征在于，所述超高真空下传样用样品托盘包括：盘体，所述盘体的中心位置设有旋转轴，所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘，每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱，所述支柱沿所述抓盘的径向延伸，且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托，所述样品托上放置有样品；所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢，所述抓盘材料选用无氧铜；

所述超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤：

采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱，且所述盘体和所述旋转轴一体成型，所述盘体的周边均匀设有多个安装孔；

采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘，并通过所述安装孔与所述盘体连接；

所述支柱通过焊接的方式与所述抓盘连接，所述支柱用于为所述样品托盘的旋转和平移提供抓取点。

2.一种超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，包括：盘体，所述盘体的中心位置设有旋转轴，所述盘体上设有减重孔，所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘，每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱，所述支柱沿所述抓盘的径向延伸，所述支柱用于为所述样品托盘的旋转和平移提供抓取点，且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托，所述样品托上放置有样品；所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢，所述抓盘材料选用无氧铜。

3.根据权利要求2所述的超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，所述盘体采用正多边形结构，每条边均连接有所述抓盘；多个所述样品托与多个所述抓盘固定后，所述超高真空下传样用样品托盘整体呈近圆形结构。

4.根据权利要求3所述的超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，所述盘体采用正六边形结构，每条边均连接有所述抓盘；六个所述样品托与六个所述抓盘固定后，所述超高真空下传样用样品托盘整体呈近圆形结构，且所述盘体上做有数字记号用于区分每个样品位置。

5.根据权利要求2－4中任一项所述的超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，所述抓盘与所述样品托接触的两侧分别设有弹簧片，所述样品托插入所述弹簧片以与所述抓盘可拆卸固定。

6.根据权利要求5所述的超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，所述抓盘采用类三角形结构，所述弹簧片采用矩形结构；所述支柱用于与抓取机构连接，实现所述超高真空下传样用样品托盘的移动。

7.根据权利要求6所述的超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，所述弹簧片的长度占所述抓盘的边长的一半，且所述弹簧片远离所述盘体设置。

8.根据权利要求5所述的超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，所述样品托采用矩形结构，且所述样品托上设有凹槽，所述样品放置在所述凹槽内。

9.根据权利要求8所述的超高真空下传样用样品托盘，其特征在于，所述样品托远离所述盘体的一侧沿所述盘体的径向延伸设有卡爪。