[发明专利]超高真空下传样用样品托盘及其制造方法

说明书

本发明公开一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法，涉及超高真空下传样技术领域，以解决现有的超高真空下样品托盘传样效率低且样品容易脱落的技术问题。本发明所述的超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤：采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱，且盘体和旋转轴一体成型，盘体的周边均匀设有多个安装孔；采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘，并通过安装孔与盘体连接；支柱通过焊接的方式与抓盘连接，并将焊缝打磨光滑、平整。

技术领域

本发明涉及超高真空下传样技术领域，特别涉及一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法。

背景技术

目前，超高真空下的样品托盘的结构多为直线型，最多可同时承载两个样品托。

本申请发明人发现，现有的样品托盘主要具有以下几点缺陷：

一、最多只能同时承载两个样品托，直接限制了研究的效率；

二、样品的传递方式只能是单一样品托传递，不能做到整体输运；具体地，首先是样品托盘为直线型，很难做到与传递装置的脱附动作，即很难与传递装置自由的组装固定和脱卸，因此大多设计成与传递装置组合为一体，只有样品托可以自由的脱附；其次，由于整体输运的时候，直线型的结构非常容易发生样品台的摇摆或者不稳，造成样品的脱落。

三、直线型样品托盘容易造成样品的混淆，因为在管道中视野受限，并排的多个样品很容易发生混淆。

因此，如何提供一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法，能够同时承载多个样品，有效提高传样效率，且有效防止样品脱落，已成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法，以解决现有的超高真空下样品托盘传样效率低且样品容易脱落的技术问题。

本发明提供一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法，所述超高真空下传样用样品托盘包括：盘体，所述盘体的中心位置设有旋转轴，所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘，每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱，所述支柱沿所述抓盘的径向延伸，且相邻两个所述抓盘之间能够装配样品托，所述样品托上放置有样品；所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢，所述抓盘材料选用无氧铜；所述超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤：采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱，且所述盘体和所述旋转轴一体成型，所述盘体的周边均匀设有多个安装孔；采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘，并通过所述安装孔与所述盘体连接；所述支柱通过焊接的方式与所述抓盘连接。

相对于现有技术，本发明所述的超高真空下传样用样品托盘的制造方法具有以下优势：