[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂

权利要求书

1.一种用于从衬底除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液，所述溶液包含：

30重量％至97重量％的二乙二醇丁醚；

1重量％至7重量％的季铵氢氧化物；

1重量％至75重量％的(2-(2-氨基乙氧基)乙醇)或者(2-(2-氨基乙氧基)乙醇)和第二溶剂；

0.001重量％至7重量％的腐蚀抑制剂；和

0.1重量％至20重量％的水；并且

其中所述溶液包含小于1％的量的DMSO。

2.根据权利要求1所述的溶液，其中所述季铵氢氧化物具有取代基，所述取代基是C₁-C₈烷基、芳烷基、苄基、C₁-C₅醇及其组合。

3.根据权利要求1或2所述的溶液，其中所述季铵氢氧化物包括四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、二甲基二丙基氢氧化铵或氢氧化胆碱中的至少一种。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的溶液，其中所述(2-(2-氨基乙氧基)乙醇)以3重量％至50重量％的量存在。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的溶液，其中所述第二溶剂以5重量％至30重量％的量存在。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的溶液，其中所述第二溶剂包括3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇或丙二醇。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的溶液，

其中所述二乙二醇丁醚以50重量％至97重量％的量存在；

其中所述季铵氢氧化物以1重量％至6重量％的量存在；

其中所述(2-(2-氨基乙氧基)乙醇)以3重量％至40重量％的量存在；

其中所述水以0.1重量％至7重量％的量存在；和

其中第一腐蚀抑制剂以0.001重量％至3重量％的量存在。

8.根据权利要求7所述的溶液，其中所述第一腐蚀抑制剂以0.001重量％至0.1重量％的量存在。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的溶液，其中所述腐蚀抑制剂包括选自间苯二酚、甘油、山梨糖醇和硝酸铜(II)的水合物的第一腐蚀抑制剂。

10.根据权利要求9所述的溶液，所述硝酸铜(II)的水合物是硝酸铜(II)半(五水合物)。

11.根据权利要求9所述的溶液，所述溶液还包含0.05重量％至7重量％的第二腐蚀抑制剂。

12.根据权利要求11所述的溶液，其中所述第二腐蚀抑制剂不同于所述第一腐蚀抑制剂，并且选自间苯二酚、甘油、山梨糖醇和硝酸铜(II)半(五水合物)。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的溶液，其中所述凝固点低于-15℃并且所述闪点高于97℃。

14.根据权利要求1-13中任一项所述的溶液，其中所述凝固点低于-19℃。

15.一种用于从衬底除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液，所述溶液包含：

50重量％至97重量％的二乙二醇丁醚；

1重量％至5重量％的季铵氢氧化物；

3重量％至40重量％的(2-(2-氨基乙氧基)乙醇)；

0.001重量％至1重量％的腐蚀抑制剂；和

1重量％至10重量％的水；

其中二乙二醇丁醚的量与水的量的比率大于5；

其中所述溶液表现出高于95℃的闪点；并且

其中所述溶液包含小于1％的量的DMSO。

16.一种除去至少一个光致抗蚀剂层的方法，所述方法包括以下步骤：

使包含至少一个光致抗蚀剂层的衬底与如权利要求1-15中任一项所述的剥离剂溶液在一定温度下接触一段时间，以至少部分地除去所述至少一个光致抗蚀剂层；和

在所述接触步骤之后冲洗所述衬底。