[发明专利]压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机

权利要求书

1.一种压电驱动装置，其特征在于，具有：

振动部，包括驱动用压电元件和检测用压电元件，并通过所述驱动用压电元件的驱动而进行振动；

传递部，设于所述振动部，向被驱动部件传递驱动力，

驱动电路，生成驱动所述驱动用压电元件的驱动信号；以及

检测电路，基于随着所述振动部的振动而从所述检测用压电元件输出的检测信号，检测所述振动部的振动，

所述检测用压电元件配置在包括所述振动部的中心的区域，

所述驱动用压电元件具有：

压电体，具有处于正反关系的第一面和第二面；

驱动用信号电极，配置于所述第一面，所述驱动信号输入所述驱动用信号电极；以及

驱动用接地电极，配置于所述第二面，并与基准电位连接，

所述检测用压电元件具有：

所述压电体；

检测用信号电极，配置于所述第一面和所述第二面中的一方，并输出所述检测信号；以及

检测用接地电极，配置于所述第一面和所述第二面中的另一方，并与基准电位连接，

所述驱动用信号电极具有：

弯曲用电极，在所述弯曲用电极与所述驱动用接地电极之间产生使所述振动部进行弯曲振动的电场，所述弯曲用电极被包括所述振动部的中心的区域分离；以及

纵向振动用电极，在所述纵向振动用电极与所述驱动用接地电极之间产生使所述振动部不弯曲地进行伸缩振动的电场，所述纵向振动用电极被包括所述振动部的中心的区域分离，

所述传递部和所述振动部的中心排列的方向上的被包括所述振动部的中心的区域分离的所述弯曲用电极的分离长度比所述检测用信号电极在所述传递部和所述振动部的中心排列的方向上的长度长。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述检测用信号电极配置于所述第一面，

所述检测用接地电极配置于所述第二面。

3.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述检测用信号电极配置于所述第二面，

所述检测用接地电极配置于所述第一面。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述传递部和所述振动部的中心排列的方向上的所述纵向振动用电极的长度比所述弯曲用电极的长度短。

5.一种机器人，其特征在于，具有权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

6.一种电子部件输送装置，其特征在于，具有权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

7.一种打印机，其特征在于，具有权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

8.一种投影仪，其特征在于，具有权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。