[发明专利]压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机

说明书

本发明提供压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机。压电驱动装置能够提高振动部的振动的检测精度，机器人、电子部件输送装置、打印机及投影仪具备该压电驱动装置。一种压电驱动装置，其特征在于，具有：振动部，包括驱动用压电元件和检测用压电元件，并通过所述驱动用压电元件的驱动而进行振动；驱动电路，生成驱动所述驱动用压电元件的驱动信号；以及检测电路，基于随着所述振动部的振动而从所述检测用压电元件输出的检测信号，检测所述振动部的振动，所述检测用压电元件配置在包括所述振动部的中心的区域。

技术领域

本发明涉及压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机及投影仪。

背景技术

已知有使用了具备压电元件的压电致动器的压电驱动装置。例如，专利文献1所记载的压电致动器具备振动体，该振动体具有在加强板的正反两面设置的大致矩形状的压电元件。其中，在压电元件中设有：第一驱动电极，其沿着该压电元件的长边方向设置；以及一对第二驱动电极，在压电元件的宽度方向两侧分别配置于压电元件的长边方向上分离开的位置，在除设有第一驱动电极及第二驱动电极的区域以外的区域中设有检测振动体的振动的检测电极。此外，在加强板的长边方向的大致中央一体地形成有向宽度方向两侧突出的臂部。

专利文献1：日本特开2007-166816号公报

在专利文献1所记载的压电致动器中，检测电极位于远离振动体的中心的位置，因而在欲充分确保第一驱动电极及第二驱动电极的面积时，在从检测电极向加强板的臂部引出配线的情况下，不得不在离第一驱动电极或者第二驱动电极近的区域配置该配线，因驱动信号的电磁干扰，噪声从第一驱动电极或者第二驱动电极混入该配线，存在难以高精度地检测振动体的振动的问题。

发明内容

本发明的应用例涉及的压电驱动装置具有：振动部，包括驱动用压电元件和检测用压电元件，并通过所述驱动用压电元件的驱动而进行振动；驱动电路，生成驱动所述驱动用压电元件的驱动信号；以及检测电路，基于随着所述振动部的振动而从所述检测用压电元件输出的检测信号，检测所述振动部的振动，所述检测用压电元件配置在包括所述振动部的中心的区域。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式涉及的压电驱动装置(压电电机)的概略结构的平面图。

图2是用于说明图1所示的压电驱动装置的动作的图。

图3是图1所示的压电致动器所具备的振动部、支承部及连接部的立体图。

图4是沿图1中的A-A线的剖视图。

图5是图1所示的压电致动器所具备的第一振动板的平面图。

图6是从第一振动板侧观察图1所示的压电致动器所具备的压电元件的平面图。

图7是从第二振动板侧观察图1所示的压电致动器所具备的压电元件的平面图。

图8是表示图1所示的压电驱动装置所具备的控制装置的结构的框图。

图9是从第一振动板侧观察本发明的第二实施方式涉及的压电驱动装置的压电致动器所具备的压电元件的平面图。

图10是从第二振动板侧观察图9所示的压电元件的平面图。

图11是表示本发明的机器人的实施方式的立体图。

图12是表示本发明的电子部件输送装置的实施方式的立体图。

图13是表示本发明的打印机的实施方式的立体图。

图14是表示本发明的投影仪的实施方式的示意图。

附图标记说明