[发明专利]光学玻璃应力检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种光学玻璃应力检测方法，使用光学玻璃应力检测系统，其特征在于，光学玻璃应力检测系统包括：

光源，所述光源为单色光源；

第一线偏元件，所述第一线偏元件的偏振方向与水平面相垂直；

可变相位延迟器，所述可变相位延迟器的快轴方向与水平面夹角为45°；

第二线偏元件，所述第二线偏元件的偏振方向与水平面平行；

探测元件，所述探测元件为面阵相机；

所述第一线偏元件、所述可变相位延迟器、所述第二线偏元件和所述探测元件沿所述光源光线传播方向依次设置，待测样品放置于所述第一线偏元件与所述可变相位延迟器之间；

还包括准直光学系统，所述准直光学系统设置于所述光源与所述第一线偏元件之间；

所述光学玻璃应力检测方法包括：

将待测样品放置于所述第一线偏元件与所述可变相位延迟器之间；

调整所述可变相位延迟器，使所述可变相位延迟器的相位延迟量为360°，通过所述探测元件测得第一光强；

调整所述可变相位延迟器，使所述可变相位延迟器的相位延迟量为180°，通过所述探测元件测得第二光强；

调整所述可变相位延迟器，使所述可变相位延迟器的相位延迟量为90°，通过所述探测元件测得第三光强；

调整所述可变相位延迟器，使所述可变相位延迟器的相位延迟量为270°，通过所述探测元件测得第四光强；

通过所述第一光强、所述第二光强、所述第三光强和所述第四光强，计算光学参数，公式如下：

C＝I₁·(I₁+I₂)/(I₃-I₄)，

其中，C为所述光学参数，I₁为所述第一光强，I₂为所述第二光强，I₃为所述第三光强，I₄为所述第四光强；

通过所述光学参数，计算相位延迟，公式如下：

cos(δ)＝1/(2·C)-1，

其中，δ为所述相位延迟；

通过所述相位延迟和所述光学参数计算待测样品的应力，公式如下：

其中，σ为所述应力，λ为所述光源波长，C为所述光学参数，d为待测样品的厚度。

2.根据权利要求1所述的光学玻璃应力检测方法，其特征在于：光学应力检测系统还包括成像光学系统，所述光学成像系统设置于所述待测样品与所述可变相位延迟器之间。