[发明专利]一种退镀液、其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201910181553.4 申请日: 2019-03-11
公开(公告)号: CN109735846B 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 王溯;孙红旗 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: C23F1/30 分类号: C23F1/30
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 薛琦;王卫彬
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 退镀液 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种退镀液,其特征在于,其包括下列质量分数的组分:5%-10%的氧化剂、1%-5%的缓蚀剂、1%-2%的光亮剂、1%-5%的促溶剂、10%-15%的加速剂、1%-5%的活化剂、和水;

所述的氧化剂为硝酸;所述的缓蚀剂为苯酚类化合物;所述的光亮剂为K值小于20的聚乙烯吡咯烷酮;所述的促溶剂为含氯化合物;所述的加速剂为氨基磺酸和/或柠檬酸。

2.如权利要求1所述的退镀液,其特征在于,所述的氧化剂的质量分数为6%-8%;

和/或,所述的缓蚀剂的质量分数为2%-4%;

和/或,所述的光亮剂的质量分数为1.2%-1.8%;

和/或,所述的促溶剂的质量分数为2%-4%;

和/或,所述的加速剂的质量分数为12%-14%;

和/或,所述的活化剂的质量分数为2.5%-4.5%。

3.如权利要求2所述的退镀液,其特征在于,所述的氧化剂的质量分数为6.5%-7.5%;

和/或,所述的缓蚀剂的质量分数为2.5%-3.5%;

和/或,所述的光亮剂的质量分数为1.5%-1.6%;

和/或,所述的促溶剂的质量分数为3%-3.5%;

和/或,所述的加速剂的质量分数为13%-13.5%;

和/或,所述的活化剂的质量分数为3%-3.5%。

4.如权利要求1所述的退镀液,其特征在于,所述的苯酚类化合物为邻苯二酚和/或邻苯三酚;

和/或,所述的光亮剂为12≤K<20的聚乙烯吡咯烷酮;

和/或,所述的含氯化合物为氯化钾和/或氯化钠;

和/或,所述的活化剂为亚硝酸钠和/或次氯酸钠;

和/或,所述的水为去离子水、蒸馏水、纯水和超纯水中的一种或多种。

5.如权利要求4所述的退镀液,其特征在于,所述的光亮剂为K值为12、15和17的聚乙烯吡咯烷酮中一种或多种。

6.如权利要求1所述的退镀液,其特征在于,其由下列质量分数的组分组成:5%-10%的氧化剂、1%-5%的缓蚀剂、1%-2%的光亮剂、1%-5%的促溶剂、10%-15%的加速剂、1%-5%的活化剂、和水;所述的氧化剂为硝酸;所述的缓蚀剂为苯酚类化合物;所述的光亮剂为K值小于20的聚乙烯吡咯烷酮;所述的促溶剂为含氯化合物;所述的加速剂为氨基磺酸和/或柠檬酸。

7.如权利要求1所述的退镀液,其特征在于,其由下列质量分数的组分组成:6%-8%的氧化剂、2%-4%的缓蚀剂、1.2%-1.8%的光亮剂、2%-4%的促溶剂、12%-14%的加速剂、2.5%-4.5的活化剂、和水;所述的氧化剂为硝酸;所述的缓蚀剂为苯酚类化合物;所述的光亮剂为K值小于20的聚乙烯吡咯烷酮;所述的促溶剂为含氯化合物;所述的加速剂为氨基磺酸和/或柠檬酸。

8.如权利要求1所述的退镀液,其特征在于,其由下列质量分数的组分组成:6.5%-7.5%的氧化剂、2.5%-3.5%的缓蚀剂、1.5%-1.6%的光亮剂、3%-3.5%的促溶剂、13%-13.5%的加速剂、3%-3.5%的活化剂、和水;所述的氧化剂为硝酸;所述的缓蚀剂为苯酚类化合物;所述的光亮剂为K值小于20的聚乙烯吡咯烷酮;所述的促溶剂为含氯化合物;所述的加速剂为氨基磺酸和/或柠檬酸。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的退镀液的制备方法,其特征在于,其包括下列步骤:将所述的退镀液的各组分混合,即可。

10.一种如权利要求1-8任一项所述的退镀液在镀锡基材退镀中的应用。

11.如权利要求10所述的应用,其特征在于,所述的镀锡基材为镀锡铜基材或镀锡铁镍基材;

和/或,所述的应用包括下列步骤:将所述的镀锡基材与所述的退镀液接触退镀,即可。

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