[发明专利]背板、使用其的溅射靶材及其使用方法

权利要求书

1.一种背板，其特征在于，该背板包括：

一第一板体；

一第二板体；以及

多个固定件，用以可拆地连接该第一板体及该第二板体。

2.如权利要求1所述的背板，其特征在于，该第一板体及该第二板体共同定义出一容置空间，一流体管路设置在该容置空间中，其中该第一板体及该第二板体满足至少一项选自下列(1)～(6)的结构特征：

(1)该第一板体及该第二板体至少一者具有一沟槽，该容置空间由该沟槽定义；

(2)该第一板体的高度占所述背板的高度的75％～87.5％；

(3)该第二板体的高度占所述背板的高度的12.5％～25％；

(4)该第一板体具有至少一管线通孔，该至少一管线通孔连通该容置空间；

(5)该第一板体及该第二板体皆包括相对的一内板壁及一外板壁，该固定件是配置在该第一板体的该外板壁及该内板壁，及分别与其相对应重叠的该第二板体的该外板壁及该内板壁之间；

(6)该第一板体及该第二板体形成具有对应螺丝的螺纹侧面，该固定件分别连接该第一板体及该第二板体的该螺纹侧面，以锁固该第一板体及该第二板体。

3.如权利要求1所述的背板，其特征在于，该固定件满足至少一项选自下列(1)～(7)的结构特征：

(1)该固定件对该第一板体及该第二板体产生的扭力值为25KgF-cm～35KgF-cm；

(2)该固定件的总数介于3至150个；

(3)该固定件分布在该第一板体或该第二板体上的单位密度为0.000526～0.026个/cm²；

(4)多个该固定件的总表面积分别占该背板的一第一板体表面或一第二板体表面的面积的1％～50％，该第一板体表面及该第二板体表面是彼此相对；

(5)多个该固定件的间距介于2～10cm；

(6)该固定件包括螺丝、插栓、或黏着剂；

(7)该固定件不重叠该第一板体及该第二板体共同定义的一容置空间。

4.一种溅射靶材，其特征在于，该溅射靶材包括：

一权利要求1至3任一项所述的背板；以及

一溅射板，设置在该背板上。

5.如权利要求4所述的溅射靶材，其特征在于，该背板或该溅射板满足至少一项选自下列(1)～(6)的结构特征：

(1)该溅射板的材质为金属或氧化物；

(2)该背板的材质为金属；

(3)该固定件配置在该溅射板下方；

(4)该背板的最外围包括至少一腔室固定孔；

(5)该溅射板配置于该第一板体或该第二板体上；

(6)该背板更包括一磁性物质设置在该第一板体及该第二板体共同定义的该容置空间中。

6.如权利要求5所述的溅射靶材，其特征在于，该第一板体及该第二板体的材质皆为铝、钛或铜的金属；或该溅射板的材质为铝、钛、铜、或氧化铟锡氧化物。

7.一种溅射靶材的使用方法，其特征在于，该使用方法包括：

提供一权利要求1～3任一项所述的背板；

通过该固定件连接该第一板体及该第二板体；及

配置一溅射板在该背板上。

8.如权利要求7所述的溅射靶材的使用方法，其特征在于，提供权利要求2所述的背板，该固定件连接该第一板体及该第二板体的使用方法包括：将多个该固定件分别从该背板的一第一板体表面穿过该第一板体的该外板壁对应锁入该第二板体的该外板壁中、从该第一板体表面穿过该第一板体的该内板壁对应锁入该第二板体的该内板壁中；或将多个该固定件分别从该背板的相对于该第一板体表面的一第二板体表面穿过该第二板体的该外板壁对应锁入该第一板体的该外板壁中、从该第二板体表面穿过该第二板体的该内板壁对应锁入该第一板体的该内板壁中，通过该固定件分别连接该第一板体及该第二板体的螺纹侧面，以锁固该第一板体及该第二板体。