[发明专利]一种结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底

权利要求书

1.一种结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底，其特征在于，结合光学腔共振模式和金属表面等离激元的电磁场增强于可见光波段的拉曼检测衬底，包括介质空腔结构、币族金属镀层。

2.根据权利要求1所述的结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底，其特征在于，介质空腔结构具备凹陷结构，凹陷结构横向尺寸100纳米-900纳米，凹陷结构深度50纳米-1000纳米。

3.根据权利要求1所述的结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底，其特征在于，凹陷结构的顶部和底部覆盖币族金属镀层，币族金属镀层厚度在20纳米至200纳米。

4.根据权利要求1或2或3所述的结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底，其特征在于，介质空腔结构通过电子束曝光或者紫外光刻或者纳米压印形成纳米结构图案，通过反应离子束刻蚀或者离子束轰击或者化学腐蚀方法转移到介质材料中。

5.根据权利要求1或2或3所述的结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底，其特征在于，币族金属镀层材质为金或银或铜或铝。

6.根据权利要求1或2或3所述的结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底，其特征在于，币族金属表面覆盖一层0-10纳米厚度的隔离层，用于隔离待测分子并避免待测分子的吸附。

7.一种制备权利要求1-6任一项所述结合空腔增强与表面增强的液相拉曼增强光谱衬底的方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤1、制备介质空腔结构：通过电子束曝光或者紫外光刻或者纳米压印形成纳米结构图案，通过反应离子束刻蚀或者离子束轰击或者化学腐蚀方法转移到介质材料中。

步骤2、币族金属镀层：在介质空腔结构表面采用物理气相沉积、电镀技术制备币族金属镀层。

步骤3、衬底表面隔离层：采用自组装单分子层或物理、化学沉积氧化物作为衬底表面隔离层。