[发明专利]触控基板及制作方法有效
申请号: | 201910187162.3 | 申请日: | 2019-03-13 |
公开(公告)号: | CN110018757B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 李镇石 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G06F3/044 | 分类号: | G06F3/044 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 触控基板 制作方法 | ||
1.一种触控基板,其特征在于,包括衬底和位于所述衬底上的触控层,所述触控层包括:
至少一第一电极组,所述第一电极组包括至少两个沿第一方向设置的第一电极;
至少一第二电极组,所述第二电极组包括至少两个沿第二方向设置的第二电极;
其中,所述第一电极与所述第二电极绝缘交叉设置;
所述第一电极组还包括位于相邻两所述第一电极之间的第一连接段,相邻两所述第一电极通过所述第一连接段电连接;
所述第二电极组还包括位于相邻两所述第二电极之间的第二连接段,相邻两所述第二电极通过所述第二连接段电连接。
2.根据权利要求1所述的触控基板,其特征在于,
所述第一电极、所述第一连接段与所述第二电极同层设置;
所述第二连接段位于所述第一连接段上。
3.根据权利要求2所述的触控基板,其特征在于,
所述第一电极与所述第一连接段在第一光罩工艺中形成;
所述第二电极与所述第二连接段在第二光罩工艺中形成。
4.根据权利要求1所述的触控基板,其特征在于,
所述第一电极组及所述第二电极组由金属网格构成。
5.一种触控基板的制作方法,其特征在于,包括:
提供一衬底;
在所述衬底上形成至少一第一电极组;
在所述第一电极组上形成第一绝缘层;
在所述第一绝缘层上形成至少一第二电极组;
其中,第一电极组包括至少两个沿第一方向设置的第一电极,所述第二电极组包括至少两个沿第二方向设置的第二电极,所述第一电极与所述第二电极绝缘交叉设置;
在所述衬底上形成至少一第一电极组的步骤包括:
在所述衬底上形成第一金属层;
利用第一光罩工艺,使所述第一金属层形成至少两个沿第一方向设置的所述第一电极及位于相邻两所述第一电极之间的第一连接段;
其中,相邻两所述第一电极通过所述第一连接段电连接;
在所述第一绝缘层上形成至少一第二电极组的步骤包括:
在所述第一绝缘层上形成第二金属层;
利用第二光罩工艺,使所述第二金属层形成至少两个沿第二方向设置的所述第二电极及位于相邻两所述第二电极之间的第二连接段;
其中,相邻两所述第二电极通过所述第二连接段电连接。
6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,
所述第一电极、所述第一连接段与所述第二电极同层设置;
所述第二连接段位于所述第一连接段上。
7.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,
所述第一电极组及所述第二电极组由金属网格构成。
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