[发明专利]微粒检测器在审
| 申请号： | 201910187346.X | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN110286079A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 奥村英正;菅野京一;水野和幸 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;李伟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电荷 微粒检测器 带电微粒 气体流路 噪声消除部 个数检测 捕集部 放电 捕集 物理量 电场发生部 气体通过 检测 噪声 | ||
1.一种微粒检测器，用于对气体中的微粒进行检测，其中，
所述微粒检测器具备：
外壳，其具有供所述气体通过的气体流路；
电荷发生部，其对导入至所述气体流路内的所述气体中的微粒附加因放电而产生的电荷，从而使其成为带电微粒；
捕集部，其在所述气体流路内设置于比所述电荷发生部靠近所述气体的气流的下游侧的位置，并对捕集对象进行捕集，该捕集对象是所述带电微粒和未使所述微粒带电的剩余电荷的任一者；
噪声消除部，其消除因所述电荷发生部的放电而发生的噪声；以及
检测部，其基于根据被所述捕集部捕集的所述捕集对象而变化的物理量对所述微粒的数量进行检测。
2.根据权利要求1所述的微粒检测器，其中，
对所述电荷发生部施加用于引起所述放电的正弦波电压或脉冲电压，
对所述噪声消除部施加与所述正弦波电压或所述脉冲电压极性相反的正弦波电压或脉冲电压。
3.根据权利要求1或2所述的微粒检测器，其中，
所述噪声消除部配置于所述电荷发生部和所述捕集部之间。
4.根据权利要求1或2所述的微粒检测器，其中，
所述噪声消除部配置于与所述电荷发生部对置的位置。
5.根据权利要求1或2所述的微粒检测器，其中，
所述噪声消除部配置于比所述捕集部靠近所述气体的气流的下游侧的位置。
6.一种微粒检测器，其是权利要求1～5中任意一项所述的微粒检测器，其中，
作为所述捕集对象，所述捕集部捕集所述带电微粒，
在所述电荷发生部和所述捕集部之间具备除去所述剩余电荷的剩余电荷除去部。
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