[发明专利]微粒检测器

说明书

本发明提供一种微粒检测器，其用于对气体中的微粒(26)进行检测。该微粒检测器(10)具备外壳(22)、电荷发生部(30)、捕集部(50)、噪声消除部(90)和个数检测部(60)。外壳具有气体通过的气体流路(24)。电荷发生部对导入至气体流路(24)内的气体中的微粒(26)附加因放电而产生的电荷(28)，从而使其成为带电微粒(P)。捕集部在气体流路(24)内设置于比电场发生部(30)靠近气流的下游侧的位置，对带电微粒(P)进行捕集。噪声消除部消除因电荷发生部(30)的放电而产生的噪声。个数检测部基于根据被捕集部(50)所捕集的带电微粒(P)而变化的物理量对微粒的数量进行检测。

技术领域

本发明涉及微粒检测器。

背景技术

作为微粒检测器，已知有下述微粒检测器：其在电荷发生元件中通过电晕放电而产生离子，通过该离子使被测定气体中的微粒带电而成为带电微粒，利用捕集电极来捕集该带电微粒，基于被捕集的带电微粒的电荷量对微粒的个数进行测定(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/146456号小册子

发明内容

然而，在捕集电极被捕集的带电微粒的电荷量极其微小，因此容易受到噪声的影响，难以精度良好地进行检测。

本发明是为了解决这种课题而做出的，其主要目的在于提高微粒的量的检测精度。

为了达成上述主要目的，本发明采用了以下的手段。

本发明的微粒检测器用于对气体中的微粒进行检测，其中，所述微粒检测器具备：

外壳，其具有所述气体通过的气体流路；

电荷发生部，其对导入至所述气体流路内的所述气体中的微粒附加因放电而产生的电荷，从而使其成为带电微粒；

捕集部，其在所述气体流路内设置于比所述电荷发生部靠近所述气体的气流的下游侧的位置，并对捕集对象进行捕集，该捕集对象是所述带电微粒和未使所述微粒带电的剩余电荷的任一者；

噪声消除部，其消除因所述电荷发生部的放电而产生的噪声；以及

检测部，其基于根据被所述捕集部捕集的所述捕集对象而变化的物理量对所述微粒的数量进行检测。

在该微粒检测器中，电荷发生部产生电荷，从而使气体中的微粒成为带电微粒，捕集部对该带电微粒和剩余电荷的任一者、亦即捕集对象进行捕集。检测部基于根据被捕集部捕集的捕集对象而变化的物理量对微粒的量进行检测。噪声消除部消除因电荷发生部的放电而产生的噪声。这种噪声会对根据被捕集部捕集的捕集对象而变化的物理量产生影响，但在此，被噪声消除部消除。因此，可以精度良好地获取根据被捕集部捕集的捕集对象而变化的物理量，进而可以提高微粒的量的检测精度。

需要说明的是，在本说明书中，所谓“电荷”，除正电荷和负电荷之外，还包括离子在内。所谓“物理量”，只要是根据捕集对象而变化的参数即可，可以举出例如电流等。“微粒的量”可以举出例如微粒的数量、质量、表面积等。

在本发明的微粒检测器中，可以对所述电荷发生部施加用于引起所述放电的正弦波电压或脉冲电压，也可以对所述噪声消除部施加与所述正弦波电压或所述脉冲电压极性相反的正弦波电压或脉冲电压。如此，可以有效地消除因电荷发生部的放电而产生的噪声。在此，优选的是，施加于噪声消除部的极性相反的正弦波电压或脉冲电压与施加于电荷发生部的正弦波电压或脉冲电压为同相位。