[发明专利]靶材结构在审
| 申请号： | 201910189394.2 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN110684952A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 杨清河;吴智稳;翁基祥;苏梦鹏 | 申请（专利权）人： | 住华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁性元件 靶材 承载面 消耗率 载板 靶材结构 使用寿命 位置位置 有效减少 磁场 配置 侵蚀 覆盖 | ||
1.一种靶材结构，其特征在于，该靶材结构包括：
一载板，具有一承载面；
一第一磁性元件，配置在该承载面；
一靶材，配置在该第一磁性元件且覆盖整个该第一磁性元件；
其中，该第一磁性元件的位置对应一第一强蚀位置。
2.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该靶材结构更包括：
一第一黏胶，形成于该承载面；
其中，该第一磁性元件通过该第一黏胶配置在该承载面。
3.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该靶材结构更包括：
一第二黏胶；以及
一第三黏胶；
其中，该第二黏胶及该第三黏胶分别形成于该第一磁性元件的相对二面。
4.如权利要求2所述的靶材结构，其特征在于，该靶材结构更包括：
一第四黏胶，覆盖该第一磁性元件及该第一黏胶；
其中，该靶材通过该第四黏胶配置在该第一磁性元件。
5.如权利要求2所述的靶材结构，其特征在于，该靶材结构更包括：
一第二磁性元件，配置在该承载面；
其中，该靶材配置在该第一磁性元件且覆盖整个该第一磁性元件，而该第二磁性元件的位置对应一第二强蚀位置。
6.如权利要求5所述的靶材结构，其特征在于，该第一强蚀位置与该第二强蚀位置相对该载板的中心呈对称。
7.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该靶材结构更包括：
一第二磁性元件；
一第五黏胶；以及
一第六黏胶；
其中，该第五黏胶及该第六黏胶分别形成于该第二磁性元件的相对二面。
8.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该第一磁性元件具有一裁断侧面，该裁断侧面与该靶材的一侧面实质上对齐。
9.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该第一磁性元件包括一调整部及一磁性部，该调整部连接于该磁性部；该磁性部的位置对应该第一强蚀位置，该调整部具有一裁断侧面，该裁断侧面与该靶材的一侧面实质上对齐。
10.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该第一磁性元件的厚度介于0.1毫米～0.5毫米之间，及/或该第一磁性元件的材料选自铁、钴、镍、不锈钢、坡莫合金及其任意组合，及/或该第一磁性元件宽度介于该靶材宽度的20％～100％。
11.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该第一强蚀位置与该靶材的中心的距离介于L/2～L/4之间，其中L为该靶材的长度，及/或该第一强蚀位置不位于靶材的边缘位置。
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