[发明专利]一种柔性芯片生产物流缓存系统

说明书

本发明及实施例提供一种柔性芯片生产物流缓存系统，包括芯片生产物流缓存控制子系统、柔性调度子系统、柔性实时仿真子系统和芯片盒送货子系统。芯片生产物流缓存控制子系统获取上位订单和生产计划信息；柔性调度子系统根据上位订单、生产计划信息和预设的多需求多工况多异常动态确定调度策略和调度方案；柔性实时仿真子系统根据调度策略和调度方案，得到调度缓存方案并向芯片盒送货子系统发送指令；AGV车载机器人及翻板式货架根据柔性调度子系统的指令，存取芯片盒，根据目标芯片盒的位置扫描定位引导。本发明及实施例提供的缓存系统，针对多变量、多异常、多重入、混合型和大规模等特征，应用仿真系统实时调整流程和物流参数，达到高效稳产。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种柔性芯片生产物流缓存系统。

背景技术

芯片制造是世界上最复杂的制造业它的特点是:1)流程复杂，制作周期长。2)机器精度高，投入高。上百亿的投入，纳米级精度，最高等级的洁净度。如何让机台吃饱喝足，灵活应对换牌、废品、急件，提高机台利用率；让珍贵的净洁空间得到充分利用，是第一要考量的要素。优化生产系统的控制与调度是当务之急。

目前，规模不同的芯片车间自动化程度各有高低，在多数应用空中小车系统的同时，普遍缺少缓存系统；不少车间用人工推车转运、人工装料；建立生产物流缓存系统，合理设置存取高效、空间紧凑、无缝对接的缓冲站，是应对订单多变、多重进入、机器检修、物流设备故障、辅料断料、品种换牌、待处理品、废品、急件、退盒等异常，提高综合效能的有效配置，适应大规模、多重入、混合型生产，达到产量、品种、工时和生产负荷的平稳均衡。

已有的系统仿真的方法是通过仿真模型对资源的配置、流程的前进以及调度的规则进行，并通过仿真数据对生产调度的方案进行分析和评估，进而选择结果相对较优的调度方案和参数设置。现有生产控制的系统仿真，大多数用于规划设计、事前预设、事后评估。需要基于成熟生产仿真平台、适应半导体行业特点、高效快速反应的能够事中不断优化更新的柔性实时仿真系统。能够每10-60分钟自动提供更新的仿真结果，修改调度方案，优化物流路径，实现生产运行无缝平稳均衡。

现有固体成型物料流水生产线的物料缓存系统，大多采用旁线式、螺旋式、提升式、小库式、小车式等，难于适应狭窄空间、无缝快速的需求。本发明采用AGV自动导引车及车载机器人与地面、挂墙及车载翻板式货架联合与已有的空中小车或机台对接，采用柔性调度系统、柔性实时仿真系统可实现优化的芯片盒缓存系统。

AGV的导航、车载机器人的定位、目标芯片盒的室内定位有多种技术，RFID、WIFI、ZigBee、计算机视觉、蓝牙、超声波、惯性导航、红外、超声波、伪卫星、UWB超宽带、激光、无反射板激光、SLAM、机器视觉等，多数精度低或系统复杂。激光定位导航技术的精度、难易综合较优，对固定反射板定位容易实现且精度较高，但如何在众多位置不断变化的芯片盒中确定目标芯片盒并精确定位，从而引导精确抓取，使引导AGV的定位系统，一机两用，还可精确定位上位指定目标芯片盒，精度达到2mm，本发明提供了创新的快捷简洁的办法。一机两用就是一套激光导航系统既可引导AGV，也可定位目标芯片盒引导精确抓取。无反射板激光定位用于引导AGV存取托盘货物有较好效果，但引导机械手精确抓取芯片盒，10mm的定位精度尚为不足。且没有从众多芯片盒中快速定位指定目标芯片盒的办法。

发明内容

本发明及实施例为克服上述技术缺陷，提供一种柔性芯片生产物流缓存系统。

第一方面，本发明及实施例提供一种柔性芯片生产物流缓存系统，包括芯片生产物流缓存控制子系统、柔性调度子系统、柔性实时仿真子系统和芯片盒送货子系统，其中：

所述芯片生产物流缓存控制子系统用于获取上位订单和生产计划信息，发送给所述柔性调度子系统；