[发明专利]测定器、蚀刻系统、硅浓度测定方法及硅浓度测定程序

权利要求书

1.一种测定器，其具备：

输入输出部，该输入输出部被输入测定值信息和初始值信息，所述测定值信息表示测定对象液的磷酸、第2酸和水的浓度，所述测定对象液包含磷酸、酸解离指数pK比磷酸的第1酸解离指数pK_a1小的第2酸和水，所述初始值信息表示所述测定对象液不包含硅的状态下的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度；

存储器，该存储器保持变动值信息，所述变动值信息包含多种第1浓度、第2浓度与基准硅浓度的关系，所述第1浓度为在基准液中按照成为基准硅浓度的方式添加硅时的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度，所述第2浓度为在所述基准液中添加所述硅之前的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度，所述基准液含有所述磷酸、所述第2酸和所述水；和

处理器，该处理器基于输入至所述输入输出部的所述测定值信息和所述初始值信息、以及从所述存储器读出的所述变动值信息，将所述初始值信息的浓度与多个所述第2浓度进行比较，进而选择所述多个所述第2浓度中与比较结果最接近的一个，选择与所选择的所述第2浓度对应的第1浓度的组，将所选择的所述第1浓度的组与所述测定值信息的浓度进行比较，基于所述比较的结果而从所述第1浓度的组中选择出与比较结果最接近的一个所述第1浓度，将选择出的所述第1浓度对应的所述基准硅浓度决定为所述测定对象液的硅浓度。

2.根据权利要求1所述的测定器，其中，所述测定值信息由所述测定对象液的近红外光分光法的吸收光谱得到。

3.根据权利要求1或2所述的测定器，其中，所述测定对象液为用于对硅化合物进行蚀刻的蚀刻液。

4.根据权利要求1或2所述的测定器，其中，所述第2酸为硫酸。

5.一种蚀刻系统，其具备：

第1容器，该第1容器用于利用包含磷酸及水的蚀刻液对硅化合物进行蚀刻；

第2容器，该第2容器用于向所述第1容器中导入磷酸；

第3容器，该第3容器用于向所述第1容器中导入水；

第4容器，该第4容器用于从所述第1容器取得所述蚀刻液、并且容纳在所述蚀刻液中添加硫酸而得到的测定对象液；

测定部，该测定部具备权利要求1～4中任一项所述的测定器，测定所述第4容器内的所述测定对象溶液中所包含的硅浓度；和

控制部，该控制部根据所述测定部中的测定结果而从所述第2容器向所述第1容器中导入所述磷酸和/或从所述第3容器向所述第1容器中导入所述水。

6.一种硅浓度测定方法，其包括：

从近红外光分光器接受测定值信息和初始值信息，所述测定值信息表示测定对象液的磷酸、第2酸和水的浓度，所述测定对象液包含所述磷酸、酸解离指数pK比磷酸的第1酸解离指数pK_a1小的所述第2酸和所述水，所述初始值信息表示所述测定对象液不包含硅的状态下的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度；

从存储器读出变动值信息，所述变动值信息包含多种第1浓度、第2浓度与基准硅浓度的关系，所述第1浓度为在基准液中按照成为基准硅浓度的方式添加硅时的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度，所述第2浓度为在所述基准液中添加所述硅之前的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度，所述基准液含有所述磷酸、所述第2酸和所述水；和

基于从近红外光分光器所接受的所述测定值信息和所述初始值信息、以及从所述存储器读出的所述变动值信息，将所述初始值信息的浓度与多个所述第2浓度进行比较，进而选择所述多个所述第2浓度中与比较结果最接近的一个，选择与所选择的所述第2浓度对应的第1浓度的组，将所选择的所述第1浓度的组与所述测定值信息的浓度进行比较，基于所述比较的结果而从所述第1浓度的组中选择出与比较结果最接近的一个所述第1浓度，将选择出的所述第1浓度对应的所述基准硅浓度决定为所述测定对象液的硅浓度。

7.一种处理器，其特征在于，所述处理器用于运行硅浓度测定程序，所述硅浓度测定程序运行时执行下述硅浓度测定方法：

接收测定值信息和初始值信息，所述测定值信息表示测定对象液的磷酸、第2酸和水的浓度，所述测定对象液包含磷酸、酸解离指数pK比磷酸的第1酸解离指数pK_a1小的第2酸和水，所述初始值信息表示所述测定对象液不包含硅的状态下的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度，

从存储器读出变动值信息，所述变动值信息包含多种第1浓度、第2浓度与基准硅浓度的关系，所述第1浓度为在基准液中按照成为基准硅浓度的方式添加硅时的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度，所述第2浓度为在所述基准液中添加所述硅之前的所述磷酸、所述第2酸和所述水的浓度，所述基准液含有所述磷酸、所述第2酸和所述水，

基于所接收的所述测定值信息和所述初始值信息、以及从所述存储器读出的变动值信息，将所述初始值信息的浓度与多个所述第2浓度进行比较，进而选择所述多个所述第2浓度中与比较结果最接近的一个，选择与所选择的所述第2浓度对应的第1浓度的组，将所选择的所述第1浓度的组与所述测定值信息的浓度进行比较，基于所述比较的结果而从所述第1浓度的组中选择出与比较结果最接近的一个所述第1浓度，将选择出的所述第1浓度对应的所述基准硅浓度决定为所述测定对象液的硅浓度。