[发明专利]柔性光电探测器和柔性光电探测器制备方法在审
| 申请号： | 201910195371.2 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN109950400A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 罗成志 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L51/44;H01L51/00;H01L51/46;H01L51/48 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单壁碳纳米管 光电探测器 薄膜 聚二甲基硅氧烷薄膜 褶皱结构 金电极 形变 制备 褶皱 薄膜形成 拉伸过程 折叠 受力 缓解 | ||
1.一种柔性光电探测器，其特征在于，包括：
聚二甲基硅氧烷薄膜；
单壁碳纳米管薄膜，设置于所述聚二甲基硅氧烷薄膜上，所述单壁碳纳米管薄膜包括至少一层褶皱结构；
金电极，设置在单壁碳纳米管薄膜形成褶皱的受力方向上的两端。
2.根据权利要求1所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述单壁碳纳米管薄膜上设置有钙钛矿量子点。
3.根据权利要求2所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述单壁碳纳米管薄膜包括褶皱区域和平坦区域，所述褶皱结构设置于所述褶皱区域。
4.根据权利要求3所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述褶皱区域包括第一褶皱区域和第二褶皱区域，在形成褶皱的受力方向上，所述第一褶皱区域与所述第二褶皱区域设置在平坦区域两侧。
5.根据权利要求4所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述钙钛矿量子点设置在第一褶皱区域。
6.根据权利要求4所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述钙钛矿量子点设置在第二褶皱区域。
7.根据权利要求4所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述钙钛矿量子点设置在平坦区域。
8.根据权利要求4所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述钙钛矿量子点设置在平坦区域和第一褶皱区域。
9.根据权利要求4所述的柔性光电探测器，其特征在于，所述钙钛矿量子点设置在第一褶皱区域和第二褶皱区域。
10.一种柔性光电探测器制备方法，其特征在于，包括：
提供聚二甲基硅氧烷薄膜；
在所述聚二甲基硅氧烷薄膜上形成单壁碳纳米管薄膜，将单壁碳纳米管薄膜形成至少一层褶皱结构；
提供金电极，在单壁碳纳米管薄膜形成褶皱的受力方向上的两端设置金电极。
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