[发明专利]柔性光电探测器和柔性光电探测器制备方法

说明书

本发明提供一种柔性光电探测器和柔性光电探测器制备方法，该柔性光电探测器包括聚二甲基硅氧烷薄膜、单壁碳纳米管薄膜、金电极，所述单壁碳纳米管薄膜设置于所述聚二甲基硅氧烷薄膜上，所述单壁碳纳米管薄膜包括至少一层褶皱结构，所述金电极设置在单壁碳纳米管薄膜形成褶皱的受力方向上的两端；在单壁碳纳米管薄膜折叠和拉伸过程中，单壁碳纳米管薄膜的褶皱结构会降低形变，缓解了现有柔性光电探测器存在单壁碳纳米管薄膜产生形变的技术问题。

技术领域

本发明涉及探测技术领域，尤其涉及一种柔性光电探测器和柔性光电探测器制备方法。

背景技术

单壁碳纳米管(single-walled carbornanotubes；SWNTs))能随意折叠和弯曲，非常适合用作组装柔性光电探测器。

利用单壁碳纳米管(single-walled carbornanotubes；SWNTs)组装柔性光电探测需要解决两个难题：一是单壁碳纳米管(single-walled carbornanotubes；SWNTs)自身由于光吸收率低、缺乏光增益机制，使探测器的响应度较低；二是单壁碳纳米管(single-walled carbornanotubes；SWNTs)薄膜折叠和拉伸过程中由于形变会造成电阻变化，从而改变光电探测器的性能。

即现有单壁碳纳米管组装的柔性光电探测器存在缺陷，需要改进。

发明内容

本发明提供一种柔性光电探测器和柔性光电探测器制备方法，用于解决现有柔性光电探测器存在单壁碳纳米管薄膜产生形变的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明实施例提供一种柔性光电探测器，其包括：

聚二甲基硅氧烷薄膜；

单壁碳纳米管薄膜，设置于所述聚二甲基硅氧烷薄膜上，所述单壁碳纳米管薄膜包括至少一层褶皱结构；

金电极，设置在单壁碳纳米管薄膜形成褶皱的受力方向上的两端。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述单壁碳纳米管薄膜上设置有钙钛矿量子点。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述单壁碳纳米管薄膜包括褶皱区域和平坦区域，所述褶皱结构设置于所述褶皱区域。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述褶皱区域包括第一褶皱区域和第二褶皱区域，在形成褶皱的受力方向上，所述第一褶皱区域与所述第二褶皱区域设置在平坦区域两侧。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述钙钛矿量子点设置在第一褶皱区域。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述钙钛矿量子点设置在第二褶皱区域。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述钙钛矿量子点设置在平坦区域。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述钙钛矿量子点设置在平坦区域和第一褶皱区域。

在本发明提供的柔性光电探测器中，所述钙钛矿量子点设置在第一褶皱区域和第二褶皱区域。

本发明实施例提供一种柔性光电探测器制备方法，其包括：

提供聚二甲基硅氧烷薄膜；

在所述聚二甲基硅氧烷薄膜上形成单壁碳纳米管薄膜，将单壁碳纳米管薄膜形成至少一层褶皱结构；

提供金电极，在单壁碳纳米管薄膜形成褶皱的受力方向上的两端设置金电极。