[发明专利]一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法在审
申请号: | 201910204284.9 | 申请日: | 2019-03-18 |
公开(公告)号: | CN110000433A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 郭和平;谷荣祥 | 申请(专利权)人: | 西安中星测控有限公司 |
主分类号: | B23H1/00 | 分类号: | B23H1/00;B23H11/00 |
代理公司: | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 710000 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电火花 压力传感器 弹性膜片 预制板 电火花加工 通电 控制压力传感器 弹性体膜片 输出灵敏度 技术效果 加工压力 生产效率 预定距离 非接触 传感器 减小 盲孔 预设 加工 测量 | ||
1.一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法,其特征在于,所述方法包括:
选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上;
将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离;
将所述电火花头通电,将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工;
当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止,获得弹性膜片。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电火花头的数量范围为5个~100个。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电火花头的直径范围为2mm~30mm。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电蚀深度范围为0.1mm~100mm。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设数量的电火花头与所述预制板固定连接,且所述预设数量的电火花头均匀排布在所述预制板上。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,与所述电火花头非接触电蚀加工形成的所述弹性膜片的数量多于两片。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预制板的材料采用紫铜板制成。
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