[发明专利]一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法

说明书

本发明公开了一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性体膜片。通过采用多个电火花头加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)，将多个电火花头通电后对弹性体做电蚀加工，形成弹性膜片。达到了提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度的目的，能够更加精确地控制压力传感器的输出灵敏度，减小劳动强度，提高生产效率的技术效果。

技术领域

本申请涉及电蚀加工技术领域，尤其涉及一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法。

背景技术

现有的加工压力传感器弹性膜片(盲孔)的方法是车削或铣床铣的方法，因为压力传感器的弹性膜片很薄，有的只有0.1mm，采用车削或者铣床铣的方法，会带来很大的加工应力，而且很难消除，最终影响压力传感器的稳定性和产品质量。目前，电火花加工是利用浸在工作液中的两极间脉冲放电时产生的电蚀作用蚀除导电材料的特种加工方法，又称放电加工或电蚀加工，英文简称为EDM。

但本申请发明人发现上述现有技术至少存在如下技术问题：

现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题。

发明内容

本申请实施例通过提供一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，用以解决现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题，通过采用多个电火花头加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)，利用电蚀方法加工弹性膜片，达到了提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度的目的，能够更加精确地控制压力传感器的输出灵敏度，减小劳动强度，提高生产效率的技术效果。

为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性体膜片。

优选地，所述电火花头的数量范围为5个～100个。

优选地，所述电火花头的直径范围为1mm～30mm。

优选地，所述电蚀深度范围为0.1mm～100mm。

优选地，所述预设数量的电火花头与所述预制板固定连接，且所述预设数量的电火花头均匀排布在所述预制板上。

优选地，与所述电火花头非接触电蚀加工形成的所述弹性膜片的数量多于两片。

优选地，所述预制板的材料采用紫铜板制成。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

本申请实施例通过提供一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性膜片。用以解决现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题，通过采用多个电火花头加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)，将多个电火花头通电后对弹性体做电蚀加工，形成弹性膜片。达到了提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度的目的，能够更加精确地控制压力传感器的输出灵敏度，减小劳动强度，提高生产效率的技术效果。