[发明专利]报警配置方法及装置

说明书

本发明提供一种报警配置方法及装置，该报警配置方法包括以下步骤：S1：判断设备是否满足报警功能的报警触发条件；若是，执行步骤S2；S2：判断所述报警功能是否配置为启用；若是，执行步骤S3；若否，执行步骤S4；S3：进入报警流程；S4：忽略报警。通过本发明，提供了处理报警的接口，提高了工艺效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种报警配置方法及装置。

背景技术

目前，立式炉设备主要用于半导体生产线的氧化和淀积工艺。

即在特定的温度和压力条件下，向反应腔室通入工艺气体，在硅片表面进行氧化和淀积处理。

立式炉设备属于批处理设备，每次处理125～141片产品，单次产品的成本高，为确保设备的可靠运行，设备控制系统对各功能部分，如温度、压力、气路、冷却水、运动部件进行监测，确认设备的运行状态是否正常，当任意功能部件出现反馈的数据异常时会自动抛出报警信息提示操作人员，并且所有的报警按照严重等级进行不同的动作处理。

目前立式炉设备在出厂前从人身安全、设备安全和产品安全的角度出发，将机台可提供的报警均预先进行了配置，报警在触发条件满足时均会执行，并且部分报警执行完后回触发硬互锁；比如，一些安全开关的报警，设备的默认配置是当开关报警条件触发后，操作界面提示报警，报警触发关闭特气，停止运动部件的工作等互锁动作，而部分客户则不希望报警触发互锁动作，但是现有的控制系统没有为用户提供配置报警的功能接口，因此如何使报警具备修改或配置的功能是亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种报警配置方法及装置。

为实现本发明的目的而提供一种报警配置方法，所述方法包括以下步骤：

S1：判断设备是否满足报警功能的报警触发条件；若是，执行步骤S2；

S2：判断所述报警功能是否配置为启用；若是，执行步骤S3；若否，执行步骤S4；

S3：进入报警流程；

S4：忽略报警。

优选地，在执行步骤S1之后并且执行步骤S2之前，所述方法还包括步骤S12：

S12：判断报警功能是否设置为可配置；

若是，执行步骤S2；若否：执行步骤S3。

优选地，在执行步骤S1之前，所述方法还包括：

接收上位机发送的配置文件，所述配置文件包括所述报警功能的配置信息；

在所述步骤S2和所述步骤S12中，从所述配置文件中读取所述配置信息，并进行判断。

优选地，所述方法还包括：配置文件修改过程，包括：

接收用户输入的权限信息，并判断所述用户是否具有权限，若是，则允许所述用户使用所述上位机修改所述配置文件。

优选地，所述方法还包括：

当所述用户不具有权限时，允许所述用户使用所述上位机查看所述配置文件。

优选地，所述步骤S3包括以下步骤：

S31：判断所述报警功能是否触发硬互锁；若是，进行互锁处理；若否，执行步骤S32；

S32：判断所述报警功能是否触发工艺菜单；若是，依据所述工艺菜单进行报警处理；若否，执行步骤S33；

S33：提示所述报警功能的内容。

一种报警配置装置，包括：下位机，所述下位机包括：报警触发模块与报警启用模块；