[发明专利]一种半导体器件测试装置及系统

说明书

本发明实施例公开了一种半导体器件测试装置及系统。该半导体器件测试装置包括双脉冲合成单元、驱动单元、第一电阻和第二电阻；双脉冲合成单元的第一端与信号发生器连接，双脉冲合成单元的第二端与驱动单元的第一端连接；驱动单元的第二端与被测半导体器件的栅极连接；第一电阻的第一端与第一电源连接，第一电阻的第二端与被测半导体器件的漏极连接；第二电阻的第一端与被测半导体器件的源极连接；第二电阻的第二端接地；第一电阻的第二端、所述第二电阻的第一端以及被测半导体器件的栅极分别与示波器连接。本发明实施例提供的半导体器件测试装置，可以实现减小体积，降低成本，降低干扰和提高测试精度的效果。

技术领域

本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体器件测试装置及系统。

背景技术

半导体器件几乎用于所有的电子制造业，例如，笔记本电脑、显示器、手机等。由于用户对电子产品的需求不断提高，半导体器件性能的要求也越来越高。

目前，半导体器件动态性能的测试装置是一个大三门冰箱大小的测试机，所有部件全固化在测试装置内。

然而，现有技术中半导体器件性能的测试装置体积大，价格昂贵，可定制化程度低，且各部件之间的信号会产生相互的干扰，降低测试精度。

发明内容

本发明提供一种半导体器件测试装置及系统，以实现减小体积，降低成本，降低干扰和提高测试精度的效果。

第一方面，本发明实施例提供了一种半导体器件测试装置，该半导体器件测试装置包括：双脉冲合成单元、驱动单元、第一电阻和第二电阻；

所述双脉冲合成单元的第一端与信号发生器连接，所述双脉冲合成单元的第二端与所述驱动单元的第一端连接；

所述驱动单元的第二端与被测半导体器件的栅极连接；

所述第一电阻的第一端与第一电源连接，所述第一电阻的第二端与所述被测半导体器件的漏极连接；

所述第二电阻的第一端与所述被测半导体器件的源极连接；

所述第二电阻的第二端接地；

所述第一电阻的第二端、所述第二电阻的第一端以及所述被测半导体器件的栅极分别与示波器连接。

进一步地，所述半导体器件测试装置还包括：隔离芯片；

所述双脉冲合成单元的第二端通过所述隔离芯片与所述驱动单元的第一端连接。

进一步地，半导体器件测试装置还包括：电容；

所述电容的第一端与所述第一电阻的第一端连接，所述电容的第二端与所述第二电阻的第二端连接。

进一步地，所述电容包括无感储能电容。

进一步地，半导体器件测试装置还包括：栅极电阻；

所述驱动单元的第二端通过所述栅极电阻与所述被测半导体器件的栅极连接。

进一步地，半导体器件测试装置还包括：电路板；

所述电容位于所述电路板的第一表面，所述双脉冲合成单元、所述第一电阻、所述第二电阻以及所述驱动单元位于所述电路板的第二表面；

所述第一表面与所述第二表面相对设置。

进一步地，半导体器件测试装置还包括：第一电源、第二电源、示波器以及信号发生器；

所述第一电源的第一端与所述第一电阻的第一端连接，所述第一电源的第二端与所述第二电阻的第二端连接；

所述第二电源与所述驱动单元连接；