[发明专利]垂直式探针卡及其矩形探针

权利要求书

1.一种垂直式探针卡，其特征在于，所述垂直式探针卡包括：

一上导板与一下导板，彼此间隔地设置；以及

多个矩形探针，分别穿设于所述上导板、并分别穿设于所述下导板；其中，每个所述矩形探针呈长形且定义有一长度方向，并且每个所述矩形探针包含：

一上接触段与一下接触段，分别位于所述上导板与所述下导板的相反两个外侧；及

至少一个梳形区段，位于所述上接触段与所述下接触段之间，并且至少一个所述梳形区段包含：

一U形部，包含有呈长形且平行于所述长度方向的一底基部及分别相连于所述底基部两端的两个侧基部；其中，所述底基部构成至少一个所述梳形区段的一第一电流通道；及

多个梳齿部，自所述底基部沿一延伸方向延伸所形成并位于两个所述侧基部之间，并且多个所述梳齿部沿所述长度方向彼此间隔地排成一列；其中，每个所述梳齿部包含一头部及连接所述头部与所述底基部的一颈部，而每个所述梳齿部的所述颈部于所述长度方向上的一长度小于所述头部于所述长度方向的一最大长度；

其中，于每个所述矩形探针中，当所述上导板与所述下导板彼此错位设置时，所述上接触段与所述下接触段彼此错位，并且至少一个所述梳形区段弯曲成一弧状构造，多个所述梳齿部位于所述弧状构造的内侧，而多个所述梳齿部的所述头部彼此相抵接且连接于两个所述侧基部，以共同构成一第二电流通道。

2.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段所弯曲而成的所述弧状构造中，任两个相邻的所述颈部之间形成有位于所述第一电流通道与所述第二电流通道之间的一间隙。

3.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段中，所述底基部于所述延伸方向的一宽度是任一所述侧基部于所述延伸方向的一宽度的至少10％，并且所述底基部于所述长度方向的一长度是介于30微米～200微米。

4.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段中，多个所述梳齿部的所述头部呈等间隔地设置，并且任两个相邻的所述头部之间相隔有介于5微米～8微米的一间距，且所述间距不大于任一个所述头部的所述最大长度。

5.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，每个所述矩形探针的外表面包含有位于相反侧的两个第一长侧面及位于相反侧的两个第二长侧面；于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段中，任一个所述第一长侧面正交于所述延伸方向，远离多个所述头部的所述底基部的表面是位于两个所述第一长侧面的其中一个所述第一长侧面，而远离所述底基部的每个所述头部的末端缘的位置对应于其中另一个所述第一长侧面。

6.依据权利要求5所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述矩形探针中，两个所述第一长侧面之间的一第一距离大于两个所述第二长侧面之间的一第二距离。

7.依据权利要求5所述的垂直式探针卡，其特征在于，每个所述矩形探针所包含的至少一个所述梳形区段的数量为多个；于每个所述矩形探针的相邻两个所述梳形区段中，远离相对应所述头部的两个所述底基部的表面是分别位于所述矩形探针的两个所述第一长侧面。

8.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，每个所述矩形探针所包含的至少一个所述梳形区段的数量为多个，并且当所述上导板与所述下导板彼此错位设置时，每个所述矩形探针的多个所述梳形区段依序反向弯曲以构成多个弧状构造，每个所述梳形区段的多个所述梳齿部位于相对应所述弧状构造的内侧，并且每个所述矩形探针的任两个相邻所述梳形区段之间具有一个反曲点。

9.依据权利要求8所述的垂直式探针卡，其特征在于，所述垂直式探针卡进一步包括有固定于每个所述矩形探针的所述上接触段的一转接板；每个所述矩形探针于所述长度方向的一长度为3毫米～4毫米，并且当所述上导板与所述下导板彼此错位设置时，每个所述矩形探针的所述下接触段能用以可分离地顶抵一待测物、并通过多个所述梳形区段而位移至少100微米。

10.一种垂直式探针卡的矩形探针，其特征在于，所述矩形探针呈长形且定义有一长度方向，所述矩形探针包括：

一上接触段与一下接触段；以及

至少一个梳形区段，位于所述上接触段与所述下接触段之间，并且至少一个所述梳形区段包含：

一U形部，包含有呈长形且平行于所述长度方向的一底基部以及分别相连于所述底基部两端的两个侧基部；其中，所述底基部构成至少一个所述梳形区段的一第一电流通道；及

至少一个梳齿部，自所述底基部沿一延伸方向延伸所形成并位于两个所述侧基部之间；其中，至少一个所述梳齿部包含一头部及连接所述头部与所述底基部的一颈部，而至少一个所述梳齿部的所述颈部于所述长度方向上的一长度小于所述头部于所述长度方向的一最大长度；

其中，所述矩形探针的所述上接触段与所述下接触段能够彼此错位，以使至少一个所述梳形区段弯曲成一弧状构造，并且至少一个所述梳齿部位于所述弧状构造的内侧，而至少一个所述梳齿部的所述头部连接于两个所述侧基部，以共同构成一第二电流通道。