[发明专利]垂直式探针卡及其矩形探针有效
申请号: | 201910223308.5 | 申请日: | 2019-03-22 |
公开(公告)号: | CN111721980B | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 刁盈铭;曾照晖;谢开杰 | 申请(专利权)人: | 台湾中华精测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R1/067 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 张福根;付文川 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 垂直 探针 及其 矩形 | ||
本发明公开一种垂直式探针卡及其矩形探针,所述矩形探针包含上接触段、下接触段、及位于上接触段与下接触段之间的梳形区段。梳形区段包含U形部与至少一个梳齿部。U形部包含构成第一电流通道的底基部及分别相连于底基部两端的两个侧基部。至少一个梳齿部自底基部延伸并位于两个侧基部之间。至少一个梳齿部包含头部及连接头部与底基部的颈部,颈部的长度小于头部。上接触段与下接触段能够彼此错位,以使梳形区段弯曲成多个梳齿部位于内侧的弧状构造,梳齿部的头部连接于两个侧基部,以共同构成第二电流通道。
技术领域
本发明涉及一种探针卡,尤其涉及一种垂直式探针卡及其矩形探针。
背景技术
现有的垂直式探针卡包含有多个导板及穿设于上述多个导板的多个导电探针,并且上述每个导电探针会受到多个导板的错位设置所压迫,进而产生形变。然而,由于所述导电探针的形变部位会有应力过度集中的情况,因而易产生断裂的问题。
于是,本发明人认为上述缺陷可改善,乃特潜心研究并配合科学原理的运用,终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。
发明内容
本发明实施例在于提供一种垂直式探针卡及其矩形探针,能有效地改善现有垂直式探针卡(或矩形探针)所可能产生的缺陷。
本发明实施例公开一种垂直式探针卡,包括:一上导板与一下导板,彼此间隔地设置;多个矩形探针,分别穿设于所述上导板、并分别穿设于所述下导板;其中,每个所述矩形探针呈长形且定义有一长度方向,并且每个所述矩形探针包含:一上接触段与一下接触段,分别位于所述上导板与所述下导板的相反两个外侧;至少一个梳形区段,位于所述上接触段与所述下接触段之间,并且至少一个所述梳形区段包含:一U形部,包含有呈长形且平行于所述长度方向的一底基部及分别相连于所述底基部两端的两个侧基部;其中,所述底基部构成至少一个所述梳形区段的一第一电流通道;多个梳齿部,自所述底基部沿一延伸方向延伸所形成并位于两个所述侧基部之间,并且多个所述梳齿部沿所述长度方向彼此间隔地排成一列;其中,每个所述梳齿部包含一头部及连接所述头部与所述底基部的一颈部,而每个所述梳齿部的所述颈部于所述长度方向上的一长度小于所述头部于所述长度方向的一最大长度;其中,于每个所述矩形探针中,当所述上导板与所述下导板彼此错位设置时,所述上接触段与所述下接触段彼此错位,并且至少一个所述梳形区段弯曲成一弧状构造,多个所述梳齿部位于所述弧状构造的内侧,而多个所述梳齿部的所述头部彼此相抵接且连接于两个所述侧基部,以共同构成一第二电流通道。
优选地,于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段所弯曲而成的所述弧状构造中,任两个相邻的所述颈部之间形成有位于所述第一电流通道与所述第二电流通道之间的一间隙。
优选地,于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段中,所述底基部于所述延伸方向的一宽度是任一所述侧基部于所述延伸方向的一宽度的至少10%,并且所述底基部于所述长度方向的一长度是介于30微米~200微米。
优选地,于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段中,多个所述梳齿部的所述头部呈等间隔地设置,并且任两个相邻的所述头部之间相隔有介于5微米(μm)~8微米的一间距,且所述间距不大于任一个所述头部的所述最大长度。
优选地,每个所述矩形探针的外表面包含有位于相反侧的两个第一长侧面及位于相反侧的两个第二长侧面;于每个所述矩形探针的至少一个所述梳形区段中,任一个所述第一长侧面正交于所述延伸方向,远离多个所述头部的所述底基部的表面是位于两个所述第一长侧面的其中一个所述第一长侧面,而远离所述底基部的每个所述头部的末端缘的位置对应于其中另一个所述第一长侧面。
优选地,于每个所述矩形探针中,两个所述第一长侧面之间的一第一距离大于两个所述第二长侧面之间的一第二距离。
优选地,每个所述矩形探针所包含的至少一个所述梳形区段的数量为多个;于每个所述矩形探针的相邻两个所述梳形区段中,远离相对应所述头部的两个所述底基部的表面是分别位于所述矩形探针的两个所述第一长侧面。
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