[发明专利]臂类型坐标测量机

说明书

臂类型坐标测量机包括：旋转台，在其上安装工件；探针，用于测量安装在旋转台上的工件的三维坐标；支撑臂，其在支撑探针的同时可旋转；臂驱动部分，其配置为让支撑臂围绕第一轴线旋转；台驱动部分，其配置为让旋转台围绕垂直于第一轴线的第二轴线旋转；和控制部分，其配置为驱动臂驱动部分和台驱动部分，以让探针相对于工件运动，使得通过探针测量工件的三维坐标。

技术领域

本发明涉及臂类型坐标测量机，其通过探针测量被测主体。

背景技术

作为测量设备，使用例如让探针沿彼此垂直的三个轴线方向运动的三维测量设备，以测量安装在安装台上的被测主体的坐标等。日本未审查实用新型申请公开No.S50-22049中所述的三维测量设备是所谓的双柱类型测量设备，其包括分别沿X轴线方向。Y轴线方向和Z轴线方向运动的运动构件构成的运动机构，且使用运动机构让探针运动。

然而，双柱类型的三维测量设备包括运动机构，其中连接多个运动构件，且由此具有用于测量主体的有限测量空间。因此，在可被测量的被测主体的尺寸或形状方面存在限制。此外，双柱类型的三维测量设备包括运动机构，其具有复杂结构，且其尺寸增加。

发明内容

本发明的目的是提供一种臂类型坐标测量机，其具有被测主体测量方面的高度灵活性。

根据本发明，公开一种臂类型坐标测量机，包括：

安装台，其上安装被测主体；

探针，用于测量安装在安装台上的被测主体的三维坐标；

支撑件，在支撑探针的同时可旋转；

第一驱动部分，配置为让安装台或支撑件围绕第一轴线旋转；

第二驱动部分，配置为让安装台或支撑件围绕垂直于第一轴线的第二轴线旋转；和

控制部分，配置为驱动第一驱动部分和第二驱动部分，以让探针相对于被测主体运动，使得通过探针测量被测主体的三维坐标。

控制部分可以驱动第一驱动部分以让支撑件围绕第一轴线旋转且可以驱动第二驱动部分以让安装台围绕第二轴线旋转。

控制部分可以驱动第一驱动部分以让支撑件围绕第一轴线旋转且可以驱动第二驱动部分以让支撑件围绕第二轴线旋转。

其中支撑件可以是多个连杆通过关节部分连接的支撑臂，且

第一驱动部分让关节部分可以围绕第一轴线旋转。

第一驱动部分可以让支撑臂的连杆围绕第三轴线旋转，该第三轴线与连杆的轴线方向平行且与第一轴线或第二轴线交叉。

臂类型坐标测量机可以进一步包括：

引导部分，配置为引导支撑臂以能围绕第二轴线旋转，引导部分以环形形状围绕安装台设置，

其中控制部分可以驱动第二驱动部分，以让支撑臂沿引导部分旋转。

支撑臂可以包括支撑第一探针的第一支撑臂和支撑与第一探针不同的第二探针的第二支撑臂，且

控制部分可以使得第一探针和第二探针同时测量被测主体的多个部分。

臂类型坐标测量机可以进一步包括：

引导部分，配置为引导第一支撑臂和第二支撑臂以可围绕第二轴线旋转，引导部分以环形形状围绕安装台设置，

其中控制部分可以驱动第二驱动部分，以让第一支撑臂和第二支撑臂沿引导部分旋转。

在通过探针测量被测主体之后，控制部分可以驱动第一驱动部分和第二驱动部分，以将支撑臂放置在收回位置，该收回位置远离安装台上的测量空间。

安装台可以是圆形基部。