[发明专利]电子束聚焦装置

权利要求书

1.一种电子束聚焦装置，位于电子加速器的后端，应用于辐照加工系统中，其特征在于，包括：

束流导轨，形成了供电子束通过束流通道；

2n+1个磁极组，安装在所述束流导轨上，且分布在所述束流通道的不同位置，其中，第n个磁极组，用于对所述电子束进行第一方向的聚焦；第n+1个磁极组，用于对所述电子束进行第二方向的聚焦，所述第二方向垂直于所述第一方向；n为正整数；

所述2n+1个磁极组的永磁铁通过磁轭环安装在所述束流导轨上；

所述磁轭环由多个磁轭连接而成，相邻两个磁轭之间的连接位置不同，所述磁轭环形成的环径不同，所述束流通道中供电子束穿过的横截面积不同。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述2n+1个磁极组包括：

第一磁极组，用于对所述电子束进行所述第一方向的一次聚焦；

第二磁极组，用于对所述电子束进行所述第二方向的聚焦；

第三磁极组，用于对所述电子束进行所述第一方向的二次聚焦。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述2n+1个磁极组的至少部分磁极组活动安装在所述束流导轨上，任意相邻两个磁极组之间的间距可调。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述2n+1个磁极组中的第二磁极组和/或所述第三磁极组活动安装在所述束流导轨上；

所述第二磁极组在所述束流导轨上的位置不同，所述第二磁极组与所述2n+1个磁极组中第一磁极组之间的第一间距不同；

和/或，

所述第三磁极组在所述束流导轨上的位置不同，所述第三磁极组与所述第二磁极组之间的第二间距不同。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述2n+1个磁极组中第一个磁极组与最后一个磁极组之间的间距不同，所述电子束在所述束流通道中的漂移空间的长度不同。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述磁极组为四极磁极组。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述四极磁极组由永磁体构成。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述永磁体的材质为汝铁硼。