[发明专利]基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法有效

专利信息
申请号: 201910240598.4 申请日: 2019-03-27
公开(公告)号: CN109940506B 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 潘凌锋;郭彬;陈一信;陈浙泊;白振兴 申请(专利权)人: 浙江大学台州研究院
主分类号: B24B37/013 分类号: B24B37/013;B24B49/00;G01R23/02
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博
地址: 318001 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 基于 晶片 区分 石英 谐振 频率 统计 方法
【权利要求书】:

1.一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法,其特征在于,包括以下步骤:

流程开始,判断本次扫频采样是否完成,若已完成,进入晶片区分和数据处理流程,完成后,进入连续圈转速是否稳定判断流程;若未完成,进入连续圈转速是否稳定判断流程;

判定连续圈转速是否稳定,若是,进一步判定本圈内本段定时时间是否到;若否,进行圈数进入判定;

判定本圈内本段定时时间到是否到,若是,进行本圈内本段定时时间到数据处理流程;若否,进行圈数进入判定;

判定是否圈数进入,若是,进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程,然后进入实时频率处理流程;若否,直接进入实时频率处理流程;

判定是否需要停机,若是,关停研磨机,流程结束;若否,判定数据发送定时时间是否到,若是,将谐振频率平均值发送到触摸屏显示,进入新一轮流程;若否,直接进入新一轮流程,

所述晶片区分和数据处理流程如下:

流程开始,基于波形匹配方法求谐振频率;

判断是否检测到谐振频率,若无,继续判断连续未测到谐振频率次数Y是否大于未测到谐振频率次数设定阈值N,若是,继续判断连续测到谐振频率次数X是否大于连续测到谐振频率次数设定阈值M,若是,连续测到谐振频率后连续未测到谐振频率次数Y’+1,继续判断连续测到谐振频率后连续未测到谐振频率次数Y’是否大于未测到谐振频率次数设定阈值N,若是,进行以下步骤:(a)进行单片晶片谐振频率处理方法;进行测到谐振频率堆栈处理方法;(b)1圈测到晶片数+1;1圈测到谐振频率数+X;计算片内散差;(c)X=0,Y=Y’,Y’=0后结束处理流程;判断流程中,若Y不大于N,且X不大于M,则进行以下设定:X=0,Y++,Y’=0;若Y’不大于N,则结束处理流程;

若检测到谐振频率,继续判断连续未测到谐振频率次数Y是否大于未测到谐振频率次数设定阈值N,若是,进行以下步骤:存储谐振频率瞬时值,记录谐振频率时间点,X++,Y’=0;若否,进行以下步骤:X=0,Y++,Y’=0。

2.如权利要求1所述的基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法,其特征在于,所述单片晶片谐振频率处理方法具体如下:

对单片晶片所有谐振所有频率求平均值;

对单片瞬时谐振频率数组采用冒泡排序法排序;

判定数据个数是否大于设定值,若是,进行以下步骤:求标准差,根据标准差及设定系数对数据进行过滤,对剩余的数据求平均值后作为该片的频率值,数据滤波后的最大值和最小值的差值作为单片散差;若否,取所有数据的平均值后作为该片的频率值,原始数据最大值和最小值的差值作为单片散差。

3.如权利要求1所述的基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法,其特征在于,所述测到谐振频率堆栈处理方法具体如下:

设定圈数内转速稳定判断结果标志位TurnsStableFlag,该标志位在有圈数进入时进行判断设定;

a)TurnsStableFlag=0,转速不稳定;

b)TurnsStableFlag=1,转速稳定;

c)TurnsStableFlag=2,转速从不稳定进入稳定的第一圈;

转速不稳定时不对单圈进行定时区段划分,直接以圈为单位处理;转速稳定时以每圈定时分段处理。

4.如权利要求1所述的基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法,其特征在于,所述转速稳定判断流程如下:

流程开始,判定是否圈数进入,若是,判定圈数是否小于2,若是,根据圈数和时间计算上一次转速speed1;若否,根据圈数和时间计算本次转速speed2,在判断|Speed1-Speed2|/Speed1是否小于转速比较阈值Threshold,若是,设定连续稳定圈数++;Speed1=Speed2,Speed2=0;若否,设定连续稳定圈数=0,Speed1=Speed2,Speed2=0;

设定连续稳定圈数+1后继续判定连续稳定圈数是否大于等于圈数设定值TurnSet,若是,判定是否TurnsStableFlag=0,若是设定TurnsStableFlag=2,若否设定TurnsStableFlag=1;

根据设定划分段数,单圈进行时间划分。

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