[发明专利]基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法

说明书

本发明公开了一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。

技术领域

本发明属于晶片研磨在线测频技术领域，具体涉及一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法。

背景技术

现有技术中谐振频率和散差统计机制及自动搜索方法如下：(1)谐振频率瞬时值存储数组用于存储每次测到晶片的瞬时谐振频率，该数组内所有数据的平均值用于与目标频率比较，当达到目标频率次数超过设定值时，关停研磨机；(2)用于求实时谐振频率(谐振频率平均值)的谐振频率瞬时值存储数组大小为固定值，数据存储采用堆栈先进先出的方式；(3)一圈内所有瞬时谐振频率踢除最值后，用标准差滤波后再求极值作为本盘晶片的散差；(4)当前自动搜索在全频段分段搜索谐振频率，在指定的时间内搜索到的谐振频率次数超过设定值，即认为搜索成功。

现有技术存在如下问题：如，自动搜索过程中，当前自动搜索方法通过指定时间测到的谐振频率次数大于设定值即认为自动搜索成功，若自动搜索过程中由于干扰信号较多，会出现自动搜索到错误的谐振频率的情况，当临近目标频率时出现自动搜索错误的情况，很容易出现超频现象。又如，谐振频率和散差统计过程中，存在如下问题：(1)由于干扰信号的影响，每个瞬时谐振频率通过波形匹配方法求得后，通过简单的约束后就认为是有效信号，未对该信号做进一步处理，有可能是干扰信号误测所得，误测的谐振频率会造成整盘晶片的平均频率与实际值有所偏差，最终造成停机不准确；(2)由于研磨量补偿的原因，谐振频率统计时，未对数组内先进入的数据进行频率研磨量补偿，造成实际值与数组的平均值会存在一定的偏差；先进入的数据相对于新进入的数据存在一个时间差，该时间对应一段研磨距离，所以需要对先进入的数据进行研磨量补偿；同时该偏差会根据研磨速率的不同而不同；(3)由于谐振频率瞬时值存储数组大小固定造成的影响，晶片研磨过程中每圈测到的谐振频率次数不同，由于谐振频率瞬时值存储数组大小固定，因此该数组数据不能代表一盘料一圈内的频率信息，对该数组求平均不能准确表示整盘晶片的平均频率；(4)谐振频率瞬时值存储数组存储每次测到的谐振频率瞬时值，未对晶片进行区分，因此每片晶片在数组内的权重会因为测到次数的不同而不同，影响停机准确性；(5)散差统计数据未通过晶片区分方法踢除误测信号，因此若误测信号参与统计散差值，则散差统计会与实际情况不符；(6)散差统计的原始数据未做研磨量补偿，散差统计会与实际情况不符。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法，通过晶片区分方法和谐振频率统计方法，使一盘料研磨结束时，其整体平均频率，即每片料平均频率的均值，等于设定的目标频率。

为解决上述技术问题，本发明采用如下的技术方案：

一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法，包括以下步骤：

流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；

判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间到是否到；若否，进行圈数进入判定；

判定本圈内本段定时时间到是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；