[发明专利]一种防X射线干扰的X射线平板探测器

说明书

本发明公开了一种防X射线干扰的X射线平板探测器，包括像素矩阵以及外围电路。像素矩阵由薄膜光电二极管和薄膜晶体管开关器件组成，其中薄膜晶体管开关器件上方设置有用于屏蔽X射线的防护层，防护层优选钨金属薄膜。本发明的有益效果：本发明将电子器件优化为带有防护层的器件，有效地降低了高能X射线对器件的影响，减少了器件的噪声干扰，并且提高了器件的使用寿命。

技术领域

本发明涉及一种防X射线干扰的X射线平板探测器，特别是涉及该X射线平板探测器中薄膜晶体管(TFT)器件的X射线防护薄膜，如该防护薄膜的材料、位置和厚度等。

背景技术

自从19世纪初伦琴发现了X射线开始，X射线就被广泛应用于人体的透视拍照。X射线摄影技术是医学诊疗中普遍使用的诊断辅助方法，在现代医学中起到举足轻重的作用。投照到人体上的均匀X射线一部分被人体吸收和散射，另一部分穿过人体沿原方向传播。由于人体各种组织和器官在密度、厚度等方面存在差异，对投照在其上的X射线的吸收量也各不同，因此将图像信息以不同的X射线强度的形式传递给探测器。

X射线是一种高能的射线，X射线管、磁控管和速调管等是X射线源的产生装置，其通过电流中的电子加速，高速轰击重金属靶材并放射出X射线。X射线的高能粒子对物质具有很强的穿透作用，并可能会对探测装置造成不可修复的损伤作用，因此需要做X射线的防护。在现有的电子器件中，X射线对电子设备有很大的影响，这极大地降低了电子元器件的使用寿命。

X射线平板探测器是一种精密的电子探测仪器，尤其是现在已经实现数字化的X射线平板探测器，其中包含有大量的薄膜光电二极管和薄膜三极管器件。在一个X射线平板探测器中，薄膜晶体管数量为数百万乃至上千万个。这些电子器件是由电子半导体薄膜组成的，很容易受到X射线的影响，大大地减少X射线平板探测器的使用寿命。

发明内容

本发明的目的是为了解决高能X射线对X射线平板探测器的TFT器件的影响，减少信号噪声，提高X射线平板探测器中TFT器件的使用寿命。

为了实现上述目的，本发明将X射线平板探测器中TFT器件加一层防X射线的防护层薄膜，通过合适的防护层来减少高能X射线对小电流信号的影响，同时提高TFT器件的使用寿命。具体技术方案如下：

一种防X射线干扰的X射线平板探测器，包括像素矩阵以及外围电路。像素矩阵由薄膜光电二极管和薄膜晶体管开关器件组成，其中在薄膜晶体管开关器件上设置有用于屏蔽X射线的金属防护层。

进一步地，外围电路包括偏置电压导线、薄膜晶体管驱动导线、信号读取导线、驱动芯片和信号读取芯片。

进一步地，防护层包括一层薄膜或者包括多层不同薄膜的组合。

进一步地，防护层的厚度范围为0.1微米至10微米。

进一步地，防护层包括重金属薄膜。

进一步地，防护层包括金属钨薄膜。

进一步地，防护层是通过物理沉积或化学沉积方法得到的膜层。

进一步地，薄膜晶体管开关器件被钝化层保护，且防护层位于钝化层上。

进一步地，X射线平板探测器还包括闪烁晶体薄膜层，防护层设置在闪烁晶体薄膜层之上，或者，防护层设置在闪烁晶体薄膜层之下。

进一步地，X射线平板探测器包括静态胸透X射线平板探测器、乳腺X射线平板探测器、动态X射线平板探测器、CMOS器件X射线平板探测器、安检用平板探测器以及工业探伤用X射线平板探测器之一。

本发明的有益效果：本发明将X射线平板探测器中的电子器件优化为带有防护层的器件，有效地降低了高能X射线对这些器件的影响，减少了器件的噪声干扰，且提高了器件的使用寿命。

附图说明