[发明专利]剥离液回收系统在审
| 申请号： | 201910243218.2 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109925781A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 柴国庆;陈思 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 过滤装置 回收液 回收系统 剥离液 光阻 剥离 药液使用效率 光阻剥离液 成分添加 存储装置 固化装置 回收装置 监控装置 金属离子 生产过程 药液管理 药液回收 在线管理 固化物 小分子 再利用 调制 补给 回收 优化 | ||
1.一种剥离液回收系统，其特征在于，包括
回收液回收装置，连接至第一工作台的排液口，所述回收液回收装置用来回收含有光阻剂以及金属离子的回收液；
光阻固化装置，与所述回收液回收装置相连通，用于固化所述回收液中的光阻剂形成凝聚物；
光阻固化物过滤装置，与所述光阻固化装置相连通，用于过滤所述凝聚物以移除回收液中的光阻剂；
金属离子过滤装置，与所述光阻固化物过滤装置相连通，用于过滤所述回收液中的金属离子；
小分子过滤装置，与所述金属离子过滤装置相连通，用于过滤所述回收液中的水分子以提高所述回收液的浓度并得到回收处理水；
回收液存储装置，其一端与所述小分子过滤装置相连通，其另一端与第二工作台的进液口相连通，用于存储所述回收液；
有效成分添加装置，与所述回收液存储装置相连通，用于补充光阻剥离液至所述回收液存储装置的所述回收液中；
补给监控装置，与所述第二工作台相连通，用于对所述第二工作台的光阻剥离液进行浓度监控，同时可对所述第二工作台添加光阻剥离液或排放光阻剥离液。
2.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述回收液包括光阻剥离液。
3.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述补给监控装置还进一步与所述第一工作台相连通，用于对所述第一工作台的光阻剥离液进行浓度监控，同时可对所述第一工作台添加光阻剥离液或排放光阻剥离液。
4.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述回收液存储装置中的回收液浓度大于所述回收液回收装置中的回收液浓度。
5.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述第二工作台排出的回收液浓度是所述第一工作台排出的回收液浓度的1.5倍。
6.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述光阻固化装置包括搅拌容器。
7.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述光阻固化物过滤装置包括即时过滤器。
8.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述金属离子过滤装置的过滤方式包括半透膜过滤、电场过滤或电化学金属离子净化。
9.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述小分子过滤装置采用半透膜过滤方式。
10.根据权利要求1所述的剥离液回收系统，其特征在于，所述有效成分添加装置与所述补给监控装置相连通，用以实时调节添加至所述第二工作台的所述回收液中光阻剥离液的浓度。
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