[发明专利]剥离液回收系统

说明书

本发明提供一种剥离液回收系统，其依序包括回收液回收装置、光阻固化装置、光阻固化物过滤装置、金属离子过滤装置、小分子过滤装置、回收液存储装置、有效成分添加装置和补给监控装置。可通过在线管理模式，充分利用其有效成分，对生产过程中含低浓度光阻剥离液回收液再利用，提高剥离药液使用效率，降低生产成本；优化剥离药液管理模式，简化药液回收、调制及回收使用过程，降低成本。

技术领域

本发明涉及回收液回收技术领域，尤其涉及一种剥离液回收系统。

背景技术

在目前显示器生产企业中，剥离液(Stripper)被大量广泛的应用在图案形成后的剥离工序。

由于工艺需求不同，对应生产过程中光刻胶膜厚与工艺膜层的粘附性不同，导致不同工艺膜层剥离工序中光阻胶含量不同，因此由剥离液所产生的剥离效果差异较大。

通常在药液管理上采用区分管理的方式进行，废旧药液统一排放给回收液系统，并且可在药液生产企业进行回收液回收再利用。但是由于剥离液消耗量巨大，且其回收再利用过程复杂，涉及到蒸馏、分离、添加剂补充等多工序。尽管如此，依然会导致回收循环使用的药液金属离子偏高，影响薄膜晶体管(TFT)特性的问题。

此外，我们还发现使用紫外、红外光学检测系统对剥离液中光阻含量进行测量时存在一定的局限性。

因此，有必要提供一种新式的剥离液回收系统，以解决现有技术中药液利用率低、药液金属离子偏高的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种剥离液回收系统，可通过在线管理模式，对生产过程中含低浓度光阻剥离液回收液再利用，提高生产效率、提高药液利用率。

为了解决上述问题，本发明一实施例中提供一种剥离液回收系统，其依序包括回收液回收装置、光阻固化装置、光阻固化物过滤装置、金属离子过滤装置、小分子过滤装置、回收液存储装置、有效成分添加装置和补给监控装置。回收液回收装置连接至第一工作台的排液口，所述回收液回收装置用来回收含有光阻剂以及金属离子的回收液；光阻固化装置与所述回收液回收装置相连通，用于固化所述回收液中的光阻剂形成凝聚物；光阻固化物过滤装置与所述光阻固化装置相连通，用于过滤所述凝聚物以移除回收液中的光阻剂；金属离子过滤装置与所述光阻固化物过滤装置相连通，用于过滤所述回收液中的金属离子；小分子过滤装置与所述金属离子过滤装置相连通，用于过滤所述回收液中的水分子以提高所述回收液的浓度并得到回收处理水；回收液存储装置与所述小分子过滤装置相连通，用于存储所述回收液；回收液存储装置，其一端与所述小分子过滤装置相连通，其另一端与第二工作台的进液口相连通，用于存储所述回收液；有效成分添加装置与所述回收液存储装置相连通，用于补充光阻剥离液至所述回收液存储装置的所述回收液中；补给监控装置与所述第二工作台相连通，用于对所述第二工作台的光阻剥离液进行浓度监控，同时可对所述第二工作台添加光阻剥离液或排放光阻剥离液。

进一步的，其中所述回收液包括光阻剥离液。

进一步的，其中所述补给监控装置还进一步与所述第一工作台相连通，用于对所述第一工作台的光阻剥离液进行浓度监控，同时可对所述第一工作台添加光阻剥离液或排放光阻剥离液。

进一步的，其中所述回收液存储装置中的回收液浓度大于所述回收液回收装置中的回收液浓度。

进一步的，其中所述回收液存储装置中的回收液浓度是所述回收液回收装置中的回收液浓度的1.5倍。

进一步的，其中所述光阻固化装置包括搅拌容器。

进一步的，其中所述光阻固化物过滤装置包括即时过滤器。

进一步的，其中所述金属离子过滤装置的过滤方式包括半透膜过滤、电场过滤或电化学金属离子净化。

进一步的，其中所述小分子过滤装置采用半透膜过滤方式。