[发明专利]一种用于半导体封装设备的自动上料装置及其工作方法有效
申请号: | 201910244001.3 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN109979831B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 王全;沈春福;周体志;徐玉豹;薛战;吴海兵;郑文彬 | 申请(专利权)人: | 合肥富芯元半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/677 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 封装 设备 自动 装置 及其 工作 方法 | ||
1.一种用于半导体封装设备的自动上料装置,包括支架(1)以及位于其顶部的传送链(4),所述支架(1)底部固定安装有四个支撑腿(2),且所述支架(1)侧壁上连接有一排上料轨道(3),其特征在于,所述传送链(4)上固定安装有若干个等间距分布的工位(11),且所述传送链(4)一侧上方设置有进料轨道(10),所述进料轨道(10)位于进料架(9)上,所述传送链(4)一端套接有从动齿轮(12),所述从动齿轮(12)中部穿接有一根转轴(13),所述转轴(13)底端连接在轴承座(14)上,所述传送链(4)另一端套接有主动齿轮(18),所述主动齿轮(18)中部连接驱动轴(17),所述驱动轴(17)一端接入换向齿轮箱(15)内部,所述换向齿轮箱(15)侧壁上安装有从动轴(16),所述驱动轴(17)导入所述换向齿轮箱(15)内部的一端连接有啮合齿轮(26),所述从动轴(16)导入所述换向齿轮箱(15)内部的一端同样连接有啮合齿轮(26),两个所述啮合齿轮(26)之间相啮合,所述从动轴(16)通过套接在其上的同步带(7)与位于所述从动轴(16)下方的主动轮(6)相连接,所述主动轮(6)与位于所述换向齿轮箱(15)正下方的驱动电机(5)的轴相连接,所述换向齿轮箱(15)一侧安装有固定在所述支架(1)侧壁上的PLC控制器(8),所述传送链(4)正上方安装有若干个位置与所述上料轨道(3)相对应的液压泵(19),所述液压泵(19)通过位于其底部的撑杆固定在所述支架(1)上且不与所述传送链(4)相接触,每个所述液压泵(19)侧壁上均通过液压伸缩杆连接有一块液压推板(20);
每个所述上料轨道(3)顶端与所述支架(1)之间的连接处均安装有一块挡板(21),每个所述挡板(21)中部均设置有一个出口(25),所述出口(25)顶部安装有气泵(22),所述气泵(22)底部连接有一根气动伸缩杆(23),所述气动伸缩杆(23)底端连接有调节板(24)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的自动上料装置,其特征在于,所述进料轨道(10)、所述上料轨道(3)的一端以及所述出口(25)均正对着所述传送链(4)顶部的所述工位(11)。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的自动上料装置,其特征在于,所述工位(11)通过所述传送链(4)与所述支架(1)顶部之间转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的自动上料装置,其特征在于,所述驱动电机(5)通过所述换向齿轮箱(15)与所述传送链(4)之间传动连接,所述主动轮(6)通过所述同步带(7)与所述从动轴(16)之间传动连接,所述从动轴(16)与所述主动齿轮(18)之间通过两个所述啮合齿轮(26)以及所述驱动轴(17)传动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的自动上料装置,其特征在于,所述调节板(24)通过所述气动伸缩杆(23)与所述出口(25)内壁之间呈活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的自动上料装置,其特征在于,所述PLC控制器(8)通过若干根导线分别与所述驱动电机(5)、所述液压泵(19)、所述气泵(22)之间有线连接。
7.一种如权利要求1所述的用于半导体封装设备的自动上料装置的工作方法,其特征在于,具体步骤包括:
步骤一:先将每个所述上料轨道(3)与半导体封装设备的进料口之间进行对接,每个所述上料轨道(3)对应一种原材料,随后,通过所述PLC控制器(8)先控制所述气泵(22)启动,利用所述气泵(22)驱动所述气动伸缩杆(23)伸缩,带动所述调节板(24)在所述出口(25)内部上下活动,对所述出口(25)大小的调节,所述出口(25)的高度被预先限定并与不同种类的原料规格相对应,并且不同所述上料轨道(3)端部对应的所述出口(25)高度各不相同;
步骤二:所述进料轨道(10)进入未经过分类整理的半导体封装所需的原材料并落在所述工位(11)上,通过所述PLC控制器(8)控制所述驱动电机(5)启动,利用所述驱动电机(5)驱动所述主动轮(6)转动,带动所述换向齿轮箱(15)运作,从而带动整个所述传送链(4)匀速转动,并且带动所述工位(11)在所述传送链(4)上逆时针转动,当所述工位(11)移动到所述上料轨道(3)附近时,所述PLC控制器(8)控制所述液压泵(19)启动,利用所述液压泵(19)驱动所述液压推板(20)伸缩来将原料从所述工位(11)上推入所述出口(25)并落入所述上料轨道(3)上,不同的所述上料轨道(3)上筛选出不同种类的原料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造