[发明专利]一种测量系统及方法

权利要求书

1.一种测量系统，其特征在于，包括控制模块以及与所述控制模块相连的漏光检测模块；

所述漏光检测模块，用于对待测器件进行漏光检测，并将检测到的漏光数据发送到所述控制模块；

所述控制模块，用于控制所述漏光检测模块工作，并接收所述漏光检测模块发送的漏光数据。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述测量系统还包括与所述控制模块相连的测试机框，所述测试机框为待测器件或用于承载所述待测器件，所述待测器件包括光路模块、电路模块和QBH输出器件；

所述电路模块用于为所述光路模块提供电源，所述光路模块用于生成激光，所述QBH输出器件用于输出所述光路模块生成的激光；

所述测量系统还包括与所述控制模块相连的测试模块；

所述测试模块用于对所述QBH输出器件输出的激光进行多项参数检测，并将参数数据发送给所述控制模块；

所述控制模块用于控制所述测试模块工作，并接收所述测试模块发送的参数数据。

3.根据权利要求2所述的测量系统，其特征在于，所述漏光检测模块包括移动轴和探测模块，所述探测模块设在移动轴上，所述探测模块至少包括热像仪、光功率探头和CCD/CMOS相机中的一种，所述移动轴用于在X、Y、Z轴方向上移动；

若探测模块使用CCD/CMOS相机探测，将生成漏光数据发送给所述控制模块，所述控制模块将所述漏光数据生成漏光参数；

所述测试模块包括QBH接口、激光参数检测器和测试移动轴，所述QBH接口与QBH输出器件相连，用于接收所述QBH输出器件输出的激光，并将激光输出至所述激光参数检测器；

所述激光参数检测器用于检测激光的参数；

所述测试移动轴与所述激光参数检测器相连，用于控制所述激光参数检测器在X、Y、Z轴方向上移动。

4.根据权利要求2所述的测量系统，其特征在于，还包括与所述控制模块相连的扩展模块和存储分析模块；

所述扩展模块用于对待测器件或所述测试机框进行扩展测试并生成扩展测试结果，所述扩展测试包括M²测试、光斑测试和外观检测测试中的至少一种。

所述控制模块包括终端、通信板卡和部署在终端的测试软件；所述存储分析模块与所述终端相连；

所述存储分析模块用于存储测试结果，对测试结果进行保存、调用与分析。

5.根据权利要求2所述的测量系统，其特征在于，还包括待测试盘和用于防止测试过程中激光泄露的保护模块，所述保护模块包括防护罩、报警装置、散热保护器和安全观测窗，所述防护罩设在所述测试机框的外表层，包裹着所述测试机框，所述报警装置设在所述控制模块的预设终端上，所述散热保护器搭载在所述测试机框内，所述安全观察窗设在整个测量系统的外表层，包裹着测量系统；

所述防护罩用于防止激光泄露；

所述散热保护器用于对所述测试机框进行散热；

所述安全观察窗用于测量系统隔离与内部照明观察；

所述待测试盘用于放置光学元件，所述光路模块给所述光学元件提供运作的光路并生成激光。

6.一种测量方法，其特征在于，应用于测量系统，所述测量系统包括控制模块以及与控制模块相连的漏光检测模块，该方法具体包括以下步骤：

所述控制模块接收启动指令，并根据所述启动指令控制所述漏光检测模块启动工作；

所述漏光检测模块对待测器件进行漏光检测，并将漏光数据发送给所述控制模块；

所述控制模块接收所述漏光数据。