[发明专利]一种卡匣及其传送设备在审
申请号: | 201910249265.8 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN110047789A | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 施杰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卡匣 收纳层 传送设备 驱动组件 升降机构 传送基板 抽屉式 可移动 灵活的 内空间 基板 取放 移出 驱动 配套 | ||
一种卡匣及其传送设备,所述卡匣包括收纳层和驱动组件,所述驱动组件可移动至所述卡匣中任意一层所述收纳层,并驱动所述收纳层进入或移出所述卡匣,所述传送设备设置有升降机构,可取放所述卡匣内任意一层所述收纳层中的基板;有益效果:通过设置抽屉式收纳层,并配套设置驱动组件,提高了卡匣内空间利用率,提升了卡匣容量,并且新型的传送设备采用升降机构,可以更快速,更灵活的传送基板,提高了取放效率。
技术领域
本发明涉及显示基板加工领域,尤其涉及一种卡匣及其传送设备。
背景技术
在液晶面板行业,自动化搬送系统是十分重要的基本设备系统,其搬送效率、存储能力直接影响到面板厂产能,其存储条件也一定程度上影响到产品质量。
在自动化搬送系统中,Cassette(卡匣/CST)即存放收纳Glass基板的盒子,LUL(搬运装置/Load/Unload)即将CST内基板取出投入产线和将产线内基板收纳进CST的设备。
现有技术中,卡匣内承载杆为单头固定式,为保证其刚性,承载杆直径较粗,导致卡匣内存放空间利用率低,现行卡匣容量多为28或56片,因卡匣容量小,为保障生产连续性,避免搬送卡匣不及时而断料,LUL内需提供至少3个卡匣储位,加上Robot取放需要活动空间大,导致卡匣占用空间大,卡匣内基板间距大,易受气流影响,基板洁净度易受影响。
为了提高CST容量,简化LUL设备空间,提高取放效率,降低设备成本,本发明提供一种新型的卡匣及其传送设备。
发明内容
本发明提供一种卡匣及其传送设备,通过设置抽屉式收纳层及其配套升降机结构,以解决现有卡匣容量小,占用空间大,其传送设备效率不高的问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种卡匣,用于存放玻璃基板和显示面板,包括:
箱体、以及设置于所述箱体内的至少一层收纳层,其中:
所述收纳层可移动地连接于所述箱体两侧内壁,以使所述收纳层可朝所述卡匣的出口方向水平移动;
驱动组件,至少包括连接件和驱动件,所述驱动组件可移动地设置于所述箱体两侧,以使所述驱动组件可沿所述箱体两侧上下移动至任意一层所述收纳层,其中:
所述连接件可与所述收纳层锁定连接或分开;
所述驱动件驱动所述连接件与所述收纳层锁定连接或分开,以及驱动所述收纳层进入或被移出所述卡匣。
根据本发明一优选实施例,所述收纳层两侧设置有滑杆,且所述滑杆可移动地连接于所述箱体两侧内壁,在两侧所述滑杆之间设置有至少两根承载杆,所述承载杆均垂直连接于两侧所述滑杆。
根据本发明一优选实施例,所述承载杆上设置有软质防滑垫。
根据本发明一优选实施例,所述连接件为驱动杆,所述驱动件中设置有齿轮;
所述驱动杆一侧为齿条状,并与所述驱动件中的所述齿轮啮合连接,通过所述齿轮的转动带动所述驱动杆运动。
根据本发明一优选实施例,所述驱动杆与所述滑杆平行,且所述驱动杆另一侧设置有一凸起,所述滑杆与所述凸起的相对位置设置有一凹槽,所述凹槽形状与所述凸起形状相吻合。
根据本发明一优选实施例,所述凸起及所述凹槽的形状为方形或弧形。
一种传送设备,用于传送所述卡匣中所收纳的基板,包括:
升降机构,设置于所述卡匣的出口前方;
升降台,设置于所述升降机构上,由所述升降机构驱动所述升降台上下移动;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造