[发明专利]芯片封装方法和芯片封装结构有效
申请号: | 201910250625.6 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN110034028B | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 席克瑞;秦锋;刘金娥;李小和;崔婷婷 | 申请(专利权)人: | 上海中航光电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L23/31;H01L25/16;H01L23/29 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201100 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 封装 方法 结构 | ||
本发明公开了一种芯片封装方法和芯片封装结构,所述芯片封装方法包括:在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上设置多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片;设置密封层;研磨密封层以暴露金属引脚;涂布第一绝缘层;形成多个金属部;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。本发明提供的芯片封装方法中,能够减少整个芯片封装的制程、提高芯片封装的效率,提高芯片对位的精度,提升整个芯片封装的可靠性,提高芯片封装的良品率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,更具体地,涉及一种芯片封装方法和芯片封装结构。
背景技术
芯片封装,通常是指将集成电路用绝缘的塑料或陶瓷材料打包的技术,也可以说是指安装半导体集成电路芯片用的外壳,它不仅起着安放、固定、密封、保护芯片和增强导热性能的作用,而且还是将芯片与外部电路进行连接的桥梁——芯片上的接点用导线连接到封装外壳的引脚上,这些引脚又通过印刷电路板上的导线与其他器件建立连接。因此,对于很多集成电路产品而言,封装技术都是非常关键的一环。
随着集成化,体积小型化进一步提高,现有技术提供了一种基于晶圆级别扇出封装技术FOWLP(Fan-Out Wafer Level Packaging),而基于晶圆级别的封装技术效率较低、成本较高。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种芯片封装方法,包括:提供透明基板,透明基板包括相对设置的第一侧和第二侧;在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上设置多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片,芯片包括多个金属引脚;设置密封层,密封层位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;研磨密封层以暴露金属引脚;涂布第一绝缘层,在所述第一绝缘层上形成多个第一通孔;形成多个金属部,金属部沿所述第一通孔的孔壁延伸、并与金属引脚电连接,多个金属部之间相互绝缘;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。
本发明还提供一种芯片封装结构,采用本发明提供的芯片封装方法,包括:有机高分子材料层;保护层,保护层覆盖有机高分子材料层;多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;多个芯片,多个芯片与对位部同侧设置,芯片包括多个金属引脚,且金属引脚位于芯片背离有机高分子材料层的一侧;密封层,密封层位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;多个金属部,金属部位于密封层背离有机高分子材料层的一侧、且金属部与金属引脚电连接。
本发明还提供了一种芯片封装方法,包括:提供透明基板,透明基板包括相对设置的第一侧和第二侧;在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上形成多个金属部,且多个金属部之间相互绝缘;在保护层背离透明基板的一侧涂布第一绝缘层,在第一绝缘层上形成多个第一通孔;形成多个对位部,金属部和多个对位部之间相互绝缘;焊接芯片,芯片包括多个金属引脚,沿垂直于有机高分子材料层的方向上,金属引脚与第一通孔至少部分交叠,且金属部沿第一通孔的孔壁延伸、并与金属引脚电连接;设置密封层,密封层位于第一绝缘层背离有机高分子材料层的一侧;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。
本发明还提供一种芯片封装结构,采用本发明提供的芯片封装方法,包括:有机高分子材料层;保护层,保护层覆盖有机高分子材料层;多个金属部,金属部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;多个对位部,多个对位部与金属部位于有机高分子材料层的同侧;多个芯片,多个芯片位于金属部背离有机高分子材料层的一侧,芯片包括多个金属引脚,金属引脚位于芯片靠近有机高分子材料层的一侧,且金属引脚与金属部电连接;密封层,密封层位于金属部背离有机高分子材料层的一侧。
与现有技术相比,本发明提供的芯片封装方法和芯片封装结构,至少实现了如下的有益效果:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海中航光电子有限公司,未经上海中航光电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910250625.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:具有改善的热管理的堆叠管芯架构
- 下一篇:扇出型封装和方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造