[发明专利]芯片封装方法和芯片封装结构有效

专利信息
申请号: 201910250625.6 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN110034028B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 席克瑞;秦锋;刘金娥;李小和;崔婷婷 申请(专利权)人: 上海中航光电子有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L23/31;H01L25/16;H01L23/29
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼
地址: 201100 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 芯片 封装 方法 结构
【说明书】:

发明公开了一种芯片封装方法和芯片封装结构,所述芯片封装方法包括:在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上设置多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片;设置密封层;研磨密封层以暴露金属引脚;涂布第一绝缘层;形成多个金属部;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。本发明提供的芯片封装方法中,能够减少整个芯片封装的制程、提高芯片封装的效率,提高芯片对位的精度,提升整个芯片封装的可靠性,提高芯片封装的良品率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,更具体地,涉及一种芯片封装方法和芯片封装结构。

背景技术

芯片封装,通常是指将集成电路用绝缘的塑料或陶瓷材料打包的技术,也可以说是指安装半导体集成电路芯片用的外壳,它不仅起着安放、固定、密封、保护芯片和增强导热性能的作用,而且还是将芯片与外部电路进行连接的桥梁——芯片上的接点用导线连接到封装外壳的引脚上,这些引脚又通过印刷电路板上的导线与其他器件建立连接。因此,对于很多集成电路产品而言,封装技术都是非常关键的一环。

随着集成化,体积小型化进一步提高,现有技术提供了一种基于晶圆级别扇出封装技术FOWLP(Fan-Out Wafer Level Packaging),而基于晶圆级别的封装技术效率较低、成本较高。

发明内容

有鉴于此,本发明提供了一种芯片封装方法,包括:提供透明基板,透明基板包括相对设置的第一侧和第二侧;在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上设置多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片,芯片包括多个金属引脚;设置密封层,密封层位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;研磨密封层以暴露金属引脚;涂布第一绝缘层,在所述第一绝缘层上形成多个第一通孔;形成多个金属部,金属部沿所述第一通孔的孔壁延伸、并与金属引脚电连接,多个金属部之间相互绝缘;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。

本发明还提供一种芯片封装结构,采用本发明提供的芯片封装方法,包括:有机高分子材料层;保护层,保护层覆盖有机高分子材料层;多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;多个芯片,多个芯片与对位部同侧设置,芯片包括多个金属引脚,且金属引脚位于芯片背离有机高分子材料层的一侧;密封层,密封层位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;多个金属部,金属部位于密封层背离有机高分子材料层的一侧、且金属部与金属引脚电连接。

本发明还提供了一种芯片封装方法,包括:提供透明基板,透明基板包括相对设置的第一侧和第二侧;在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上形成多个金属部,且多个金属部之间相互绝缘;在保护层背离透明基板的一侧涂布第一绝缘层,在第一绝缘层上形成多个第一通孔;形成多个对位部,金属部和多个对位部之间相互绝缘;焊接芯片,芯片包括多个金属引脚,沿垂直于有机高分子材料层的方向上,金属引脚与第一通孔至少部分交叠,且金属部沿第一通孔的孔壁延伸、并与金属引脚电连接;设置密封层,密封层位于第一绝缘层背离有机高分子材料层的一侧;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。

本发明还提供一种芯片封装结构,采用本发明提供的芯片封装方法,包括:有机高分子材料层;保护层,保护层覆盖有机高分子材料层;多个金属部,金属部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;多个对位部,多个对位部与金属部位于有机高分子材料层的同侧;多个芯片,多个芯片位于金属部背离有机高分子材料层的一侧,芯片包括多个金属引脚,金属引脚位于芯片靠近有机高分子材料层的一侧,且金属引脚与金属部电连接;密封层,密封层位于金属部背离有机高分子材料层的一侧。

与现有技术相比,本发明提供的芯片封装方法和芯片封装结构,至少实现了如下的有益效果:

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海中航光电子有限公司,未经上海中航光电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910250625.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top