[发明专利]分光装置、激光发生装置以及刻划设备

权利要求书

1.一种分光装置，包括分光板(10)，所述分光板(10)上设置有多个透光孔(11)；其特征在于，

所述分光装置还包括遮光板(20)，所述遮光板(20)具有第一位置和第二位置，当所述遮光板(20)位于第一位置时，所述遮光板(20)打开全部的所述透光孔(11)，当所述遮光板(20)位于第二位置时，所述遮光板(20)遮蔽一个或多个所述透光孔(11)，所述遮光板(20)能够沿第一方向从所述第一位置向所述第二位置运动；

多个所述透光孔(11)包括第一透光孔(111)和第二透光孔(112)，所述分光板(10)具有第一状态，在所述第一状态下，所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)之间的连线相对所述第一方向倾斜；

所述遮光板(20)包括第一边缘(21)，所述第一边缘(21)在所述遮光板(20)从第一位置向第二位置运动的过程中首先遮蔽所述透光孔(11)，所述第一边缘(21)相对所述第一方向倾斜，所述第一边缘(21)相对所述第一方向的倾斜方向与处于第一状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)之间的连线相对所述第一方向的倾斜方向相反。

2.根据权利要求1所述的分光装置，其特征在于，所述遮光板(20)的第一边缘(21)与处于第一状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)之间的连线间的夹角范围小于180°且不小于45°。

3.根据权利要求2所述的分光装置，其特征在于，所述遮光板(20)的第一边缘(21)与处于第一状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)之间的连线间的夹角为90°。

4.根据权利要求1所述的分光装置，其特征在于，所述分光板(10)具有第二状态，处于第二状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)在所述第一方向上的投影间的距离大于处于第一状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)在所述第一方向上的投影间的距离，所述分光板(10)沿垂直于板面的轴线旋转以运动至第一状态或第二状态。

5.根据权利要求4所述的分光装置，其特征在于，在所述分光板(10)从第一状态运动至第二状态的过程中，处于第二状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)在所述第一方向上的投影间的距离最大，处于第一状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)在所述第一方向上的投影间的距离最小，所述分光板(10)从第一状态运动至第二状态所旋转的角度大于0°且小于90°。

6.根据权利要求4所述的分光装置，其特征在于，所述分光板(10)的旋转中心为多个所述透光孔(11)的外接圆的圆心。

7.根据权利要求1所述的分光装置，其特征在于，所述分光板(10)具有第二状态，处于第二状态的所述分光板(10)的所述第一透光孔(111)和所述第二透光孔(112)之间的连线平行于第一方向。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的分光装置，其特征在于，所述分光装置还包括旋转部，与所述遮光板(20)连接，用于旋转所述遮光板(20)以改变所述第一边缘(21)与所述第一方向间的夹角。

9.一种激光发生装置，包括光源(30)和分光装置，其特征在于，所述分光装置为权利要求1至8中任一项所述的分光装置，所述光源(30)发出的光线经由所述分光装置的分光板(10)上的透光孔(11)射出。

10.一种刻划设备，包括激光发生装置，其特征在于，所述激光发生装置包括权利要求1至8中任一项所述的分光装置，或所述激光发生装置为权利要求9所述的激光发生装置。