[发明专利]分光装置、激光发生装置以及刻划设备

说明书

本发明公开了一种分光装置、激光发生装置以及刻划设备，分光装置包括分光板，分光板上设置有多个透光孔；遮光板，遮光板具有第一位置和第二位置，当遮光板位于第一位置时打开全部的透光孔，当遮光板位于第二位置遮蔽一个或多个透光孔，遮光板能够沿第一方向从第一位置向第二位置运动；多个透光孔包括第一透光孔和第二透光孔，分光板具有第一状态，第一透光孔和第二透光孔之间的连线相对第一方向倾斜；遮光板包括第一边缘，第一边缘在遮光板从第一位置向第二位置运动的过程中首先遮蔽透光孔，第一边缘相对第一方向倾斜，第一边缘相对第一方向的倾斜方向与处于第一状态的分光板的第一透光孔和第二透光孔之间的连线相对第一方向的倾斜方向相反。

技术领域

本发明涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种分光装置、激光发生装置以及刻划设备。

背景技术

在光伏芯片加工过程中，采用刻划的工艺去除一部分膜层，常用的划刻工艺又分为机械刻划和激光刻划。

激光刻划即采用激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化、从而达到去除膜层的目的。激光刻划设备的主要部件为激光发生装置，激光发生装置包括分光板，单束的激光透过分光板上的多个透光孔分成预定间距的多束激光，从而进行刻划，当需要划线的数量少于透光孔的数量时，就需要利用遮光板20’遮蔽一部分的透光孔，减少用于划刻的激光束。

如图1和图2所示，图示出了现有技术中的激光划刻设备中的遮光板20’的结构和工作状态。

图2中的遮光板20’由驱动部50’驱动，在图中沿纸面方向的左右移动以遮蔽或打开第一透光孔111’，但由于移动精度较差且误差范围较小，偶尔会发生移动不到位的情况，无法完全遮蔽第一透光孔111’。

图1中的遮光板20’由于未运行到位仅仅遮蔽了一部分第一透光孔111’，因此依然透射了出了B束光线，相比从第二透光孔112’正常透射的A束光线，B束光线较细，但依然在目标膜层上划刻了一道刻线，造成了残次品。

发明内容

为了解决上述技术问题，根据本发明的一个方面，提供了一种分光装置，包括分光板，分光板上设置有多个透光孔；分光装置还包括遮光板，遮光板具有第一位置和第二位置，当遮光板位于第一位置时，遮光板打开全部的透光孔，当遮光板位于第二位置时，遮光板遮蔽一个或多个透光孔，遮光板能够沿第一方向从第一位置向第二位置运动；多个透光孔包括第一透光孔和第二透光孔，分光板具有第一状态，在第一状态下，第一透光孔和第二透光孔之间的连线相对第一方向倾斜；遮光板包括第一边缘，第一边缘在遮光板从第一位置向第二位置运动的过程中首先遮蔽透光孔，第一边缘相对第一方向倾斜，第一边缘相对第一方向的倾斜方向与处于第一状态的分光板的第一透光孔和第二透光孔之间的连线相对第一方向的倾斜方向相反。

根据本发明的另一个方面，还提供了一种激光发生装置，包括光源和分光装置，分光装置为上述的分光装置，光源发出的光线经由分光装置的分光板上的透光孔射出。

根据本发明的另一个方面，还提供了一种刻划设备，包括激光发生装置，激光发生装置包括上述的分光装置，或激光发生装置为上述的激光发生装置。

本发明的分光装置的遮光板的第一边缘倾斜设置，且与第一透光孔和第二透光孔之间的连线的倾斜方向相反，因此第一边缘沿第一方向从第一透光孔运动到第二透光孔的距离要大于第一透光孔与第二透光孔在第一方向上的投影的最短距离，因此遮光板的许可误差范围增加，遮光板的运动精度误差对遮光板的遮光效果的影响减小，分光装置的可靠性得到提高。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明