[发明专利]一种蒸镀装置及方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸镀腔、熔融单元、蒸气输送单元和喷射单元，所述熔融单元通过所述蒸气输送单元和所述喷射单元连接；

所述熔融单元包括熔融腔，所述蒸气输送单元包括蒸气腔，所述喷射单元包括喷射腔和喷嘴；

从所述熔融腔至所述喷射腔方向，所述蒸气腔的横截面面积逐渐减小；

所述喷嘴设有开口大小可调节的喷气口，所述喷气口用于向试样镀膜；所述蒸气腔顶部的横截面面积大于所述喷气口处的横截面面积；

所述试样在蒸镀腔内完成镀膜；

还包括设于所述喷气口上方的第一移动部，所述试样固定在所述第一移动部的下表面；

所述第一移动部设有预热试样的加热部；

所述蒸镀装置还包括检测单元和镀膜去除单元；所述检测单元用来检测镀膜是否符合设计要求，所述镀膜去除单元用来去除待镀试样上所喷镀的不符合设计要求的镀膜；

所述镀膜去除单元包括加热部、清洗部和镀膜回收器；所述加热部用来加热待镀试样，以使待镀试样表面的温度接近或达到蒸镀材料的熔点，所述镀膜回收器用来回收脱落的镀膜，所述清洗部用来清洗镀膜脱落后的试样表面；

所述蒸气腔的形状为锥形；

所述熔融单元中，熔融容器、加热部和保温层由内至外依次设置；所述蒸气输送单元中，蒸气通道、加热部和保温层由内至外依次设置；所述喷射单元中，喷嘴、加热部和保温层内至外依次设置；

在所述喷气口和所述试样之间设有用于检测膜厚的膜厚仪；

还包括设于所述熔融单元下方的第二移动部，所述熔融单元、所述蒸气输送单元和所述喷射单元置于所述第二移动部上；

所述熔融腔和所述蒸气腔均设有温度传感器；

所述喷射单元与所述试样之间设有挡板。

2.一种使用权利要求1所述的蒸镀装置进行蒸镀的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将待镀试样固定在第一移动部底部，待镀面朝下，调整喷气口与待镀试样表面的距离，根据待镀试样宽度调整喷气口长度；

步骤2：蒸镀腔抽真空，设置第一移动部或第二移动部的移动速度；

步骤3：将熔融容器内蒸镀材料加热至设定温度，加热蒸气通道和喷嘴；

步骤4：打开挡板，将蒸镀材料蒸气喷射到待镀试样表面；

步骤5：当镀膜厚度达到设定值时关闭挡板，关闭加热部，待试样降温后，充气，取出试样。

3.根据权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于，在步骤1之前，还包括对待镀试样进行碱洗、超声清洗和吹干。