[发明专利]一种红外线控制电路

权利要求书

1.一种红外线控制电路，为晶圆定位提供稳定的红外线光源。该控制电路包括：

输入电路，用于转换输入电压，

放大电路，用于放大输入电压，

输出电路，用于控制红外线产生器件，

反馈电路，用于检测红外线强度信号，并将此信号反馈至放大电路的输入端，监测电路，用于处理红外线强度信号，转换0～10V可监测的电压信号。

2.如权利要求1所述的一种红外线控制电路，其所述输入电路是由3个或任意不少于2个电阻接地。

3.如权利要求1所述的一种红外线控制电路，其所述放大电路包括功率放大器、PNP晶体管、NPN晶体管。

4.如权利要求1所述的一种红外线控制电路，其所述输出电路有NPN晶体管、1个或多个电阻、12个或任意个940nm或其他波长红外线LED。

5.如权利要求1所述的一种红外线控制电路，其所述反馈电路包括光敏二极管、1个或多个电阻接地。

6.如权利要求1所述的一种红外线控制电路，其所述监测电路由3个放大器构成，其中一级放大器用于电压反相比例放大，二级放大器用于电压跟随，三级放大器用于电压反相。