[发明专利]一种红外线控制电路

说明书

本发明涉及用于晶圆缺口位置检测的红外线光源。本发明提供了一种新型红外线控制电路，该红外线控制电路具有稳定可控、成本低的优点。当该红外线控制电路应用于离子注入机时，可为晶圆缺口检测提供稳定可控的红外线光源，属于半导体领域。

技术领域

本发明涉及一种红外线控制电路，应用在离子注入机。

背景技术

离子注入机是将某种元素的原子进行电离，并使其在电场中加速，控制其以一定的速度和角度射入固体材料表面的设备。

粒子注入时，要求晶圆的缺口方向一致，以保证对固体材料的导电性能改善一致。所以在粒子注入前，需要对晶圆进行精确定位。

本发明设计了一种红外线控制电路，为离子注入机晶圆定位提供了稳定可控的红外线光源。

发明内容

本发明设计了一种红外线控制电路，提供了稳定可控的红外线光源，应用在离子注入机的晶圆定位。

本发明的一种红外线控制电路由五大部分组成，包括输入电路、放大电路、输出电路、反馈电路及监测电路。

本发明提供的一种红外线控制电路实现了两个功能，一是由输入电路101、放大电路102、输出电路103、反馈电路104实现的闭环控制红外线光强功能，二是由反馈电路104和监测电路105实现的实时监测红外线光强功能。

本发明具有如下显著优点：

1.红外线光强稳定可控、

2.红外线光强可监测。

3.控制电路简单，成本低。

附图说明

图1为根据本发明的一个实施方式的红外线控制电路结构框图

图2为根据本发明的一个实施方式的输入电路结构框图

图3为根据本发明的一个实施方式的放大电路结构框图

图4为根据本发明的一个实施方式的输出电路结构框图

图5为根据本发明的一个实施方式的反馈电路结构框图

图6为根据本发明的一个实施方式的监测电路结构框图

具体实施方式

下面结合附图进一步详细描述本发明，本发明的较佳实施例图示在附图中。提供实施例是为了使揭示的内容更加透彻和完整。但不作为对本发明的限定。

图1为根据本发明的一个实施方式的红外线控制电路结构框图，其中

101为输入电路，

102为放大电路，

103为输出电路，

104为反馈电路，

105为监测电路。

红外线控制电路的控制信号由输入电路101转化为相应电压信号，该电压信号经放大电路102进行电压调理，调理信号控制输出电路103的电流，驱动LED发出红外线，反馈电路104中的光敏电阻接收红外线信号，并转换为电压信号输入至放大电路的输入端，形成闭环控制。反馈电路104转换的电压信号另外经过监测电路105的处理，转换为0～10V的可监测电压信号，该信号是红外线光强的量化指标。

图2为根据本发明的一个实施方式的输入电路结构框图，201为2个限流电阻，202为1个分压电阻，在202分压电阻处并联电容，起滤波作用。控制信号经过限流电阻限流，分压电阻的分压得到电压信号。控制信号与电压信号满足下式的关系：

u_i＝λ₁·u_c (1)