[发明专利]一种掩膜板在审
| 申请号： | 201910260124.6 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110048030A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 何超 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 通透区 阻挡区 镂空 基板 膜层 窄边框设计 沉积膜层 阴影效应 镂空区域 镂空区 沉积 成膜 刮伤 膜面 通孔 掩膜 封装 | ||
1.一种掩膜板，包括阻挡区及通透区，其中所述阻挡区与所述通透区之间还设有镂空区，所述镂空区内设置有第一通孔。
2.据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述镂空区环绕所述通透区设置。
3.据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述镂空区宽度范围为100um～2mm。
4.据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔数量为多个，这些所述第一通孔的横截面面积之和占所述镂空区面积的10％～90％。
5.据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔数量为多个，这些第一通孔阵列排布于所述镂空区。
6.据权利要求4或5所述的掩膜板，其特征在于，所述镂空区还设置有第二通孔，所述第二通孔横截面的面积小于所述第一通孔横截面的面积。
7.据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔和第二通孔的横截面面积之和占所述镂空区面积的10％～90％。
8.据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔包括2个或以上数量，所述第二通孔包括2个或以上数量，由所述第一通孔构成的纵列平行于由所述第二通孔构成的纵列。
9.据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔包括2个或以上数量，所述第二通孔包括2个或以上数量，其中由所述第一通孔构成的横列平行于由所述第二通孔构成的横列。
10.据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔的截面形状包括圆形、三角形、四边形以及多边形中的一种。
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