[发明专利]进气装置及化学气相沉积设备在审
| 申请号： | 201910260291.0 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN109881182A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 伍强;翟伟辰;蒋冬冬;李荻;李昕然 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 节流板 送气装置 化学气相沉积设备 缓存装置 进气装置 成膜 挡板 气体通过 扩散板 沉积 | ||
1.一种进气装置，其特征在于，包括：
送气装置、与所述送气装置相连接的挡板以及气体缓存装置；
其中，所述气体缓存装置与所述挡板相连接；
其中，所述气体缓存装置还包括节流板与扩散板，所述节流板上还设置有多个气孔，所述节流板与所述送气装置越靠近的区域上的所述气孔的孔径越小，所述节流板与所述送气装置越远离的区域上的所述气孔的所述孔径越大；
其中，所述扩散板设置在所述气体缓存装置的底部。
2.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述节流板为圆形节流板，所述节流板上的所述气孔的所述孔径由所述节流板的中心向所述节流板的圆周方向逐渐增大。
3.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述节流板为可拆卸的拼接式节流板。
4.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述扩散板上的多个扩散孔的孔径大小相同。
5.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述扩散板为圆形板。
6.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述送气装置的送气口与所述节流板的中心区域相对。
7.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述扩散板上还设置有多个扩散孔，所述节流板与所述扩散板之间形成气体缓冲区。
8.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述挡板与所述节流板之间的距离不大于所述节流板与所述扩散板之间的距离。
9.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述挡板的表面积不小于所述节流板的表面积。
10.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的进气装置和壳体，所述进气装置设置在所述壳体内。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
