[发明专利]温度调节系统

权利要求书

1.一种温度调节系统，其调节载置被处理体的载置台的温度，所述温度调节系统具备：

热交换部，设置于所述载置台内且经由该载置台的载置面进行基于制冷剂的热交换；

制冷单元，包含压缩器、冷凝器、膨胀阀、气体管道及分流阀；

供给管道，设置于所述冷凝器的输出端与所述热交换部的输入端之间，将所述制冷剂送往所述热交换部；

排出管道，设置于所述热交换部与所述制冷单元之间；

检测装置，检测所述载置台的温度；以及

控制部，根据由所述检测装置检测出的所述载置台的温度，调节向该载置台的热量输入、所述膨胀阀以及所述分流阀各自的开度，

所述压缩器构成为压缩从所述热交换部排出的所述制冷剂；

所述冷凝器构成为冷凝由所述压缩器压缩后的所述制冷剂；

所述膨胀阀设置于所述供给管道；

所述气体管道设置于所述压缩器的输出端与所述膨胀阀的输出端之间；

所述分流阀设置于所述气体管道；

所述热交换部包含蒸发室、储存室及多个管，

所述管包含喷射口，

所述储存室经由所述供给管道连接于所述制冷单元，且经由多个所述管与所述蒸发室连通，储存经由该供给管道从该制冷单元供给的制冷剂，

所述蒸发室经由所述排出管道连接于所述制冷单元，遍及所述载置台的所述载置面而延伸，且包含多个所述喷射口，所述蒸发室使所述储存室所储存的制冷剂蒸发，而且包含积液区域，该积液区域为从暴露于该蒸发室内的底壁的表面至该喷射口的、向该喷射口的下方延伸的该蒸发室内的区域，且与将从所述热交换部排出的所述制冷剂送往所述压缩器的排出管道连接，

所述喷射口设置于所述管的一端，配置成从该管向所述蒸发室的内壁中的位于所述载置面侧的导热壁喷射制冷剂，

在打开所述膨胀阀、关闭所述分流阀的同时调节该膨胀阀的开度以使所述载置台成为第1温度的状况下使所述载置台的温度上升时，所述控制部向该载置台输入热量，并且打开该分流阀的同时调节该分流阀的开度以使该载置台的温度成为高于该第1温度的第2温度。

2.根据权利要求1所述的温度调节系统，其中，

若所述载置台的温度达到所述第2温度，则所述控制部结束向该载置台的热量输入，并且关闭所述分流阀。

3.根据权利要求1所述的温度调节系统，其中，

所述控制部通过调节所述分流阀的开度，调节所述载置台的温度达到所述第2温度为止的时间。

4.根据权利要求2所述的温度调节系统，其中，

所述控制部通过调节所述分流阀的开度，调节所述载置台的温度达到所述第2温度为止的时间。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的温度调节系统，其中，

所述载置台设置于等离子体处理装置的处理容器内。

6.根据权利要求5所述的温度调节系统，其中，

向所述载置台的热量输入通过等离子体来进行。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的温度调节系统，其中，

所述载置台具备加热器，

向所述载置台的热量输入通过所述加热器来进行。

8.根据权利要求5所述的温度调节系统，其中，

所述载置台具备加热器，

向所述载置台的热量输入通过所述加热器来进行。

9.根据权利要求6所述的温度调节系统，其中，

所述载置台具备加热器，

向所述载置台的热量输入通过所述加热器来进行。