[发明专利]一种掩膜板在审
| 申请号： | 201910262698.7 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111763908A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 林进志;叶昱均 | 申请（专利权）人： | 陕西坤同半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安亚信智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 61241 | 代理人： | 杨亚会 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括，
边框；
设置于所述边框上的第一掩膜层；
设置于所述第一掩膜层上的第二掩膜层；
设置于所述第二掩膜层上的第三掩膜层；
其中，所述第一掩膜层包括第一区和第二区，所述第一区与所述边框连接，所述第一区的厚度大于所述第二区的厚度。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第三掩膜层在所述第一掩膜层上的投影区域与所述第二区重合。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第二掩膜层在所述第一掩膜层上的投影区面积与第一掩膜层的面积相等。
4.根据权利要求3所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第一区围绕于所述第二区四周。
5.根据权利要求1～4任一项所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜层和第三掩膜层的材质为因瓦合金。
6.根据权利要求5所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第二掩膜层的材质为聚酰亚胺。
7.根据权利要求6所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜层的第一区的厚度为30-60μm。
8.根据权利要求6所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜层的第二区的厚度为2-10μm。
9.根据权利要求6所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第二掩膜层的厚度为10-30μm。
10.根据权利要求6所述的一种掩膜板，其特征在于，所述第三掩膜层的厚度为2-10μm。
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