[发明专利]用于集成电路测试设备的电触头及集成电路测试设备

说明书

一种用于集成电路测试设备的电触头，电触头具有细长导电接触引脚，细长导电接触引脚具有在接触引脚的内端处向上的接触尖端以及允许接触引脚在测试期间从一侧到另一侧摆动和滑动的弯曲底表面。一种具有“P”形横截面的细长可压缩构件，包括：“垂直部分”，其是所谓的字母“P”形状的上部弯曲部分，适于紧密配合在接触引脚顶部上的向上凹陷部内；以及“水平部分”，其是所谓的字母“P”形的主干或垂直线，定位在所述接触引脚的下顶表面和插座顶盖之间并与其接触。

相关申请的交叉引用

本申请是2015年9月15日提交的序列号为14/855,341的美国申请的部分继续申请。

技术领域

本发明整体涉及电触头，并且更具体地，涉及集成电路测试设备中的电触头。

背景技术

射频(RF)半导体器件正在发生改变，以满足日益创新的无线标准的需求。随着时间的推移，支持更高数据吞吐速率的信号带宽和载波频率不断增加。这意味着器件越来越复杂，所有这些器件都需要在更宽的工作范围内进行测试。为了便于统计相关性，还需要增加单元计数和多个生产批次。

信号完整性是针对RF器件测试选择测试解决方案的主要标准。

由于各种因素包括所使用的触头的类型和长度，许多用于测试RF器件的当前解决方案难以满足所需的信号完整性。使用垂直连接的弹簧探针的测试接触解决方案导致更长接触或传导长度。弹簧探针还包括多元件组件，这与更长的触头长度一起以负面方式影响信号完整性。

另一个重要的考虑因素是压印的长度。压印长度是接触引脚与被测器件的接触垫的接触印痕长度以及擦拭行程的总和。对于非常小或不规则尺寸的接触垫诸如拐角斜面或凹形垫，具有短压印是至关重要的。诸如美国专利号US 7,819,672(Osato)的解决方案具有长擦拭行程，这导致长压印，并且不适用于短的或不规则的接触垫。

一般来讲，在测试设备中使用较长的接触引脚导致信号完整性较差。而且，具有较短压印允许测试具有较小接触垫的器件，以及具有不规则接触垫的器件，如拐角斜面或凹形垫的情况。

可获得具有短压印的电触头，诸如美国专利申请No.14/855,341(Foong等人)中所教导的，该专利申请是本申请的母案申请。该申请中教导的设计存在的一个问题是接触引脚倾向于掉落，如大多数单个弹性体设计的情况。该设计的另一个问题是矩形弹性体具有随时间变形的倾向，这继而导致压缩时反作用力的损失。

本领域所需要的是一种RF器件测试设备，其保持良好的信号完整性，并且能够测试具有非常小的接触垫的器件，或者测试具有非典型形状的垫的器件(诸如在拐角斜面和凹形垫中)，同时防止组装期间接触引脚掉落，并且提供针对压缩的良好反作用力持续更长时间。

发明内容

本发明试图通过提供一种用于集成电路测试设备的电触头克服上述缺点，该电触头具有非常短的刚性接触引脚和短擦拭行程。本发明的接触引脚是细长导电构件，其具有在接触引脚的内端处向上的接触尖端以及允许接触引脚在测试期间从一侧到另一侧摆动和滑动的弯曲底表面。一种具有已顺时针旋转90°的字母“P”形状横截面的细长弹性体(在本专利说明书中也称为可压缩构件)，包括：“垂直部分”，其形成所谓的字母“P”的上部弯曲部分，适于紧密配合在接触引脚顶部上的向上凹陷部内；以及“水平部分”，其是所谓的字母“P”的主干或垂直线，定位在接触引脚的下顶表面和插座外壳的顶盖(我们称为插座顶盖)之间并与其接触。

“P”形弹性体提供如下多种功能：

1)防止接触引脚掉落

a.弹性体的垂直部分与接触引脚凹陷壁之间的摩擦用于将接触引脚保持就位并防止其沿垂直方向掉落。

b.弹性体的水平部分与垂直部分相交处的内边缘是弯曲的，并且适于在接触引脚中接纳钩，所述钩钩在弹性体的该部分上。这也有助于防止接触引脚沿垂直方向掉落。