[发明专利]芯片倒装固晶设备及其传输装置有效
申请号: | 201910266052.6 | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN110047792B | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 郑嘉瑞;尹祖金;董佳弛;李志聪;鲁晓晨;李泽民;胡金 | 申请(专利权)人: | 深圳市联得自动化装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 郭玮;吴平 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 倒装 设备 及其 传输 装置 | ||
1.一种传输装置,用于传输软性基板,其特征在于,所述传输装置包括:
基板,起支撑及固定作用,所述基板具有安装面;
传输机构,安装于所述基板,并与所述安装面间隔设置,所述传输机构包括多个平行且间隔设置的传输导轨,相邻的两个所述传输导轨围设形成传输通道;
夹紧机构,设置于所述基板,所述夹紧机构用于夹紧位于所述传输通道上的软性基板;
平移机构,设置于所述基板,并与所述夹紧机构传动连接,所述平移机构用于驱动所述夹紧机构沿所述传输导轨的长度方向滑动,以带动所述软性基板沿所述传输导轨的长度方向滑动;
控制器,与所述夹紧机构及所述平移机构通讯连接,所述控制器用于根据预设时间间隔,控制所述平移机构及所述夹紧机构启动。
2.根据权利要求1所述的传输装置,其特征在于,所述传输导轨的一侧开设有滑槽,所述滑槽沿所述传输导轨的长度方向延伸,相邻的两个所述传输导轨的滑槽相对设置。
3.根据权利要求1所述的传输装置,其特征在于,所述夹紧机构包括:
夹紧驱动件,所述夹紧驱动件具有输出轴,所述输出轴沿垂直于所述传输导轨的长度方向的第一方向延伸;
凸轮组件,包括第一凸轮及第二凸轮,所述第一凸轮及所述第二凸轮套设并固定于所述输出轴,且沿所述输出轴的延伸方向间隔设置;及
夹块组件,包括第一夹块及第二夹块,所述第一夹块与所述第一凸轮的边缘抵接,所述第二夹块与所述第二凸轮的边缘抵接,所述第一夹块及所述第二夹块围设形成位于所述传输通道内的夹持空间,所述夹紧驱动件驱动所述第一凸轮及所述第二凸轮旋转,可带动所述第一夹块及第二夹块沿垂直于所述传输导轨的长度方向及所述第一方向的第二方向滑动,以调节所述夹持空间的尺寸。
4.根据权利要求3所述的传输装置,其特征在于,所述夹紧机构还包括安装板及抵接组件,所述抵接组件安装于所述安装板,所述抵接组件包括第一抵接件及第二抵接件,所述第一夹块设置于所述第一抵接件的一端,所述第一抵接件远离所述第一夹块的一端抵接于所述第一凸轮,所述第二夹块安装于所述第二抵接件的一端,所述第二抵接件远离所述第二夹块的一端抵接于所述第二凸轮。
5.根据权利要求4所述的传输装置,其特征在于,所述夹紧机构还包括支撑组件,所述支撑组件包括第一支撑柱及第二支撑柱,所述第一支撑柱的一端与所述第一抵接件远离所述第一夹块的一端固定连接,另一端与所述安装板的顶缘抵接,所述第二支撑柱固定于所述第二抵接件远离所述第二夹块的一端,并与所述第二凸轮抵接。
6.根据权利要求3所述的传输装置,其特征在于,所述第一夹块包括第一折边及与所述第一折边连接的第二折边,所述第一折边沿所述传输导轨的长度方向延伸,所述第二折边沿所述第二方向延伸,所述第二夹块包括第一弯边及与所述第一弯边连接的第二弯边,所述第一弯边沿所述传输导轨的长度方向延伸,所述第二弯边沿所述第二方向延伸,所述第一折边及所述第二折边间隔设置形成避位部,所述传输导轨穿设于所述避位部,所述第二折边与所述第二弯边的末端相对设置,并围设形成夹持空间。
7.根据权利要求1所述的传输装置,其特征在于,所述平移机构包括:
平移驱动件,所述平移驱动件具有沿所述传输导轨的长度方向延伸的输入轴;
传动丝杆,与所述输入轴平行且间隔设置,所述夹紧机构套设于所述传动丝杆的一端,并与所述传动丝杆传动连接;及
同步带组件,包括同步带、主动轮及从动轮,所述主动轮及所述从动轮间隔设置,所述同步带套设于所述主动轮及所述从动轮,所述主动轮套设并固定于所述输入轴,所述从动轮套设并固定于所述传动丝杆远离所述夹紧机构的一端。
8.根据权利要求7所述的传输装置,其特征在于,平移机构还包括平移滑轨,所述平移滑轨沿所述传输导轨的长度方向延伸,所述平移驱动件可驱动所述夹紧机构沿所述平移滑轨滑动。
9.根据权利要求7所述的传输装置,其特征在于,所述输入轴及所述传动丝杆在所述安装面内的投影重合。
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