[发明专利]旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置

权利要求书

1.一种旋转靶材的绑定方法，其特征在于，包括：

将背衬管装配在可旋转底座上；

将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，各段靶材管形成环绕所述背衬管的靶材材料层；

对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空；

向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，所述导电胶为石墨导电胶。

3.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，所述导电胶由凝固后为弹性体的胶类物质与导电颗粒混合制成。

4.根据权利要求1-3任一项所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，所述将各段靶材管穿套在所述背衬管上之前，所述绑定方法还包括：在所述背衬管的外壁环绕导电的网状物。

5.根据权利要求1-3任一项所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，将各段靶材管穿套在所述背衬管上时，所述绑定方法还包括：

对各段所述靶材管之间的拼接缝隙进行控制，使所述拼接缝隙的宽度在目标宽度范围内。

6.根据权利要求5所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，利用塞规，对各段所述靶材管之间的拼接缝隙进行控制，所述塞规的厚度范围为0.5mm～1mm。

7.根据权利要求1-3任一项所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，将各段所述靶材管之间的拼接缝隙用胶带密封缠绕。

8.根据权利要求1-3任一项所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，所述将背衬管装配在可旋转底座上之前，所述绑定方法还包括：将所述背衬管的第一端与法兰固定连接，所述法兰的远离所述背衬管的面与所述可旋转底座的安装面相匹配；

所述背衬管通过所述法兰装配在所述可旋转底座上。

9.根据权利要求1-3任一项所述的旋转靶材的绑定方法，其特征在于，

将所述背衬管直立并将所述背衬管的第一端装配在所述可旋转底座上；

在将各段靶材管穿套在所述背衬管上时，先将所述可旋转底座升降至操作位置，再将所述靶材管穿套在所述背衬管上；

通过下述方式对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空：

将真空罩从所述背衬管的顶部向下套在所述可旋转底座上，并使所述真空罩的底端与所述可旋转底座密封相接，所述可旋转底座上的所述背衬管、所述靶材材料层以及灌胶头位于所述真空罩和所述可旋转底座形成的密闭空间内，

对所述真空罩和所述可旋转底座形成的密闭空间抽真空。

10.一种旋转靶材的绑定装置，其特征在于，包括：

可旋转底座，用于固定所述背衬管；

升降装置，用于驱动所述可旋转底座上升或下降；

抽真空设备，用于对所述背衬管与环绕所述背衬管的靶材材料层之间的间隙抽真空；

灌胶装置，用于向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶；

所述可旋转底座还用于在灌入导电胶时，使所述背衬管和所述靶材材料层旋转，以使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

11.根据权利要求10所述的旋转靶材的绑定装置，其特征在于，还包括：

真空罩，所述真空罩的底端与所述可旋转底座密封相接，所述真空罩和所述可旋转底座形成容纳所述背衬管、所述靶材材料层以及灌胶头的密闭空间；

所述抽真空设备用于对所述真空罩和所述可旋转底座形成的密闭空间抽真空。

12.根据权利要求10或11所述的旋转靶材的绑定装置，其特征在于，

所述背衬管的一端固定连接有法兰；

所述可旋转底座的安装面与所述法兰的远离所述背衬管的面相匹配。