[发明专利]旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置

说明书

本发明公开了一种旋转靶材的绑定方法，涉及靶材技术，能够解决通过人工钎焊绑定靶材费时费力的问题。所述旋转靶材的绑定方法包括：将背衬管装配在可旋转底座上；将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，各段靶材管形成环绕所述背衬管的靶材材料层；对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空；向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

技术领域

本发明涉及靶材技术，尤其一种旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置。

背景技术

靶材已经逐渐发展成为一个专业化产业，且随着薄膜技术的不断发展，靶材市场将进一步扩大。目前，靶材的设计逐渐由平面靶材向旋转靶材过渡，因为一般平面靶材利用率只能达到30％，而旋转靶材的材料利用率可以达到65％以上，而且旋转靶材的溅射速率相对较快，所以适用旋转靶材的镀膜设备也越来越多。旋转靶材一般包括背衬管和由靶材材料制成的靶材管，背衬管和靶材管通过绑定工序结合在一起。目前旋转靶材的绑定主要是通过人工钎焊粘合，通常是先分别将靶材管和背衬管做金属化处理，再通过人工钎焊将靶材管逐段地拼接粘合到背衬管上。整个过程中费时费力，而且焊料填充困难，靶材与背衬管之间的粘结率难以保证。

发明内容

为了解决问题，本发明提供了一种旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置，能够解决通过人工钎焊绑定靶材费时费力的问题。

本公开的实施例提供一种旋转靶材的绑定方法，包括：

将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，各段靶材管形成环绕所述背衬管的靶材材料层；

对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空；

向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

本公开的实施例还提供一种旋转靶材的绑定装置，包括：

可旋转底座，用于固定所述背衬管；

升降装置，用于驱动所述可旋转底座上升或下降；

抽真空设备，用于对所述背衬管与环绕所述背衬管的靶材材料层之间的间隙抽真空；

灌胶装置，用于向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶；

所述可旋转底座还用于在灌入导电胶时，使所述背衬管和所述靶材材料层旋转，以使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

本公开的实施例还提供一种旋转靶材，包括：

背衬管；

穿套在所述背衬管上的靶材管；

导电胶，所述导电胶设置于所述背衬管和所述靶材管之间的间隙，用于连接所述背衬管和所述靶材管。

本公开实施例提供的旋转靶材的绑定方法，先将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，然后向背衬管与靶材管之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

与钎焊方式相比，本公开实施例提供的旋转靶材的绑定方法，具有如下优势：

1、导电胶的胶化温度一般比钎焊温度低得多，可改善作业环境。

2、由逐段拼接焊合变成通过一次性灌入导电胶，背衬管与各段靶材管通过导电胶结合，并利用可旋转底座使导电胶在背衬管与靶材管之间的间隙中分布均匀，提高了生产效率及产品良率。