[发明专利]利用喷墨头的药液供应方法

权利要求书

1.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：

从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；

将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及

从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，

所述中心部分供应的第一药液供应量等于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量之和。

2.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：

从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；

将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及

从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，

所述中心部分供应的第一药液供应量大于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量。

3.根据权利要求2所述的药液供应方法，其特征在于：

所述第一部分供应的第二药液供应量小于所述第二部分供应的第三药液供应量。

4.根据权利要求2所述的药液供应方法，其特征在于：

所述第一部分供应的第二药液供应量大于所述第二部分供应的第三药液供应量。

5.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：

从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；

将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及

从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，所述多个周边部分分别还包括第三部分，

所述药液供应方法还包括从所述第三部分以第四药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，

所述中心部分供应的第一药液供应量等于所述第一部分供应的第二药液供应量、所述第二部分供应的第三药液供应量及所述第三部分供应的第四药液供应量之和。

6.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：

从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；

将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及

从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，所述多个周边部分分别还包括第三部分，

所述药液供应方法还包括从所述第三部分以第四药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，

所述中心部分供应的第一药液供应量大于所述第一部分供应的第二药液供应量、所述第二部分供应的第三药液供应量及所述第三部分供应的第四药液供应量。