[发明专利]利用喷墨头的药液供应方法

说明书

本发明提供一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的周边部分的喷墨头，可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上，从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。可以将喷墨头在基板的上部移动相当于周边部分的长度的量。可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上，从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。本发明的药液供应方法能够有效防止在所述基板的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象，能够在所述基板上均匀地形成所需的薄膜。

本申请享有2018年4月9日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2018-0041082号的优先权。

技术领域

本发明的实施例涉及利用喷墨头的药液供应方法。更具体来讲，本发明的实施例涉及能够将药液向所需区域上供应两次以上的利用喷墨头的药液供应方法。

背景技术

制造液晶显示装置、有机发光装置等显示装置时大体执行在基板上形成取向膜、滤色片或有机发光层之类的薄膜的工序。通常可以利用包括多个喷嘴的喷墨头在所述基板上形成这种薄膜。

现有的喷墨头具有第一部分与第二部分共两个部分，其中从所述第一部分向基板的预定的区域上以约50％的药液供应量供应药液。在所述基板上将所述喷墨头移动相当于所述第一部分的长度的量后，从所述第二部分以约50％的药液供应量再次供应所述药液以在所述基板的预定的区域上形成薄膜。该情况下，与所述预定的区域邻接的邻接区域之间的边界可能会被所述喷墨头的第一部分及第二部分供应过量的药液。如上，邻接的区域之间的边界被供应过量药液的情况下，由于所述药液而发生界面湍动(也称作马朗戈尼效应(Marangoni effect))，从而发生形成于所述基板的预定的区域上的所述薄膜不均匀的问题。

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供能够向预定的区域将药液以不同的药液供应量供应两次以上，并且能够防止邻接的区域之间的边界由于所述药液而发生的界面湍动的药液供应方法。

技术方案

为达成本发明的上述目的，根据本发明的方面，提供一种利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头的药液供应方法。根据所述药液供应方法，可从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，可从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，可从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上。可以将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量。可从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，可从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，可从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上。

根据例示性实施例，所述中心部分供应的第一药液供应量实质上可等于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量之和。

根据例示性实施例，所述中心部分供应的第一药液供应量实质上可大于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量。

根据例示性实施例，所述第一部分供应的第二药液供应量实质上可小于所述第二部分供应的第三药液供应量。

根据例示性实施例，所述第一部分供应的第二药液供应量实质上可大于所述第二部分供应的第三药液供应量。

根据部分例示性实施例，所述多个周边部分分别还可以包括第三部分且可从所述第三部分以第四药液供应量将所述药液供应到所述基板上。

根据部分例示性实施例，所述中心部分供应的第一药液供应量实质上可等于所述第一部分供应的第二药液供应量、所述第二部分供应的第三药液供应量及所述第三部分供应的第四药液供应量之和。